[發明專利]晶圓搬運機器人

有效

• 申請號: 201310047597.0
• 申請日: 2013-02-06
• 公開（公告）號: CN103972136A
• 公開（公告）日: 2014-08-06
• 發明（設計）人: 王福清;張耀仁;林宗穎
• 申請（專利權）人: 上銀科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 廈門市新華專利商標代理有限公司 35203
• 代理人: 朱凌

1.一種晶圓搬運機器人，其特征在于，包含：

一基座，具有一頂板、底板、附加電路板、活動板及支撐柱；該頂板與底板之間由該支撐柱連結，該頂板具有一穿設孔，該附加電路板及活動板介于該頂板與底板之間，該附加電路板固定于該底板、并與該底板間隔一距離設置，該活動板介于該附加電路板與頂板之間，該活動板設有一承載部及三個承接座，該承接座以相等角度數組于該承載部的周圍；

一立柱，其為長條狀結構，該立柱固定于該承載部、且又穿設于該穿設孔，并相對該穿設孔往復移動；

一滾珠螺桿，包含：一螺桿及一螺帽，該螺桿沿一方向延伸為長條狀結構，定義該延伸方向為軸方向，該螺桿的軸方向的兩端分別定義為第一端及第二端，該第一端樞設于該頂板，該第二端樞設于該附加電路板，其設有螺旋狀的滾動溝；該螺帽設有供該螺桿穿設的貫穿孔，該貫穿孔的內緣面設有相對該滾動溝的滾動槽，該滾動溝及滾動槽之間設有多個滾動件；該螺帽與其中一該承接座連結；

兩線性軸承，其分別包含：一軌軸及一環型滑塊，該軌軸沿一方向延伸為長條狀結構，定義該延伸方向為軸方向，該軌軸的軸方向的兩端分別定義為第一端及第二端，該第一端固設于該頂板，該第二端固設于該附加電路板；該環形滑塊設有多個朝軸方向設置的內滾動槽，該內滾動槽與該軌軸之間設有多個滾動件；兩該線性軸承的環形滑塊分別與另外兩該承接座連結；

一動力源，其固定于該附加電路板，該動力源與該螺桿的第二端連接并驅動該螺桿旋轉；

其中，各該承接座之間的角度為120度；該螺桿經由該動力源驅動旋轉時，該螺帽帶動該活動板位移，而該環形滑塊相對該軌軸線性位移，而帶動該立柱相對該穿設孔位移。

2.如權利要求1所述的晶圓搬運機器人，其特征在于：該立柱設有一容置空間，該動力源相對該容置空間設置，該立柱縮于該基座內部時，該動力源有局部會容置于該容置空間。