[發明專利]一種薄膜損傷的判別方法無效
| 申請號： | 201310047480.2 | 申請日： | 2013-02-06 |
| 公開（公告）號： | CN103163147A | 公開（公告）日： | 2013-06-19 |
| 發明（設計）人： | 蘇俊宏;梁海鋒;徐均琪;惠迎雪;楊利紅 | 申請（專利權）人： | 西安工業大學 |
| 主分類號： | G01N21/88 | 分類號： | G01N21/88;G01N21/49;G01N21/59 |
| 代理公司： | 西安智邦專利商標代理有限公司 61211 | 代理人： | 商宇科 |
| 地址： | 710032*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 薄膜 損傷 判別 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種薄膜損傷的判別方法，其特征在于：所述方法包括以下步驟：?
1)將測試光束作用于待測光學薄膜獲取背景光能量Eb；?
2)變化測試光束與待測光學薄膜的角度θ，獲取在當前角度θ的散射光能量Eθ；?
3)獲取測試光束波長處待測光學薄膜的透過率Tλ；?
4)根據步驟1)-步驟3)中的背景光能量Eb散射光能量Eθ、待測光學薄膜的透過率Tλ，得到相對光能量分布
5)建立薄膜損傷判別模型：?
其中，δEθ為有效相對散射光能；?
6)根據步驟5)的薄膜損傷判別模型，判別待測光學薄膜是否損傷。?
2.根據權利要求1所述的薄膜損傷的判別方法，其特征在于：所述步驟6)的具體步驟是：6.1)多次變化測試光束與待測光學薄膜的角度θ，根據步驟5)中的薄膜損傷判別模型得出一條δEθ散射光角分布曲線。?
3.根據權利要求2所述的薄膜損傷的判別方法，其特征在于：所述步驟6.1)之后還包括步驟6.2)當δEθ散射光角分布曲線上的峰值是3.5％-5.5％，則待測光學薄膜損傷。?
4.根據權利要求3所述的薄膜損傷的判別方法，其特征在于：所述步驟1)中測試光束和待測光學薄膜的角度在0°-60°之間。?
5.根據權利要求4所述的薄膜損傷的判別方法，其特征在于：所述步驟2)中變化測試光束與待測光學薄膜的角度θ滿足0°＜θ＜90°。?
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