[發明專利]臭氧產生元件及其制造方法

有效

• 申請號: 201310047233.2
• 申請日: 2013-02-06
• 公開（公告）號: CN103241715A
• 公開（公告）日: 2013-08-14
• 發明（設計）人: 金森哲雄;八木幸弘;高田隆裕;宮本利之
• 申請（專利權）人: 株式會社村田制作所
• 主分類號: C01B13/11
• 分類號: C01B13/11
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 袁偉東

技術領域

本發明涉及臭氧產生元件及其制造方法，更確切而言，涉及通過放電而由氧生成臭氧的臭氧產生元件及其制造方法。

背景技術

作為以往的臭氧產生元件，已知有例如專利文獻1記載的臭氧產生元件。該臭氧產生元件的放電電極和感應電極隔著電介質基板而對置(對向する)。放電電極及感應電極分別通過由玻璃構成的保護膜覆蓋。在如以上那樣構成的臭氧產生元件中，通過對放電電極與感應電極之間施加交流高電壓，而在放電電極的周圍產生放電。由此，通過放電電極的周圍的氧來生成臭氧。

然而，在專利文獻1記載的臭氧產生元件中，在放電時，放電電極的溫度上升。由于玻璃僅具有比較低的耐熱性，因此由玻璃構成的保護膜因放電電極的溫度的上升而劣化。其結果是，在專利文獻1記載的臭氧產生元件中，放電電極發生炭化，臭氧的產生量下降。

【在先技術文獻】

【專利文獻】

【專利文獻1】日本特開2009-29647號公報

發明內容

【發明要解決的課題】

因此，本發明的目的在于提供一種能夠抑制保護層的劣化引起的臭氧的產生量的下降的臭氧產生元件及其制造方法。

【用于解決課題的手段】

本發明的一方式的臭氧產生元件的特征在于，具備：電介質層；設置在所述電介質層上的放電電極；隔著所述電介質層而與所述放電電極對置的感應電極；以及以覆蓋所述放電電極的方式設置在所述電介質層上，且由玻璃陶瓷構成的保護層。

所述臭氧產生元件的制造方法的特征在于，同時燒成所述電介質層和所述保護層。

【發明效果】

根據本發明，能夠抑制保護層的劣化引起的臭氧的產生量的下降。

附圖說明

圖1是臭氧產生元件的分解立體圖。

圖2是比較例的臭氧產生元件的分解立體圖。

圖3是表示第一實驗的結果的曲線圖(グラフ)。

圖4是表示第三實驗的結果的曲線圖。

【符號說明】

10??臭氧產生元件

12??層疊體

14??放電電極

14a、16a??對置部

14b、16b??連接部

16??感應(誘導)電極

18a～18e??電介質層

20??保護層

24a、24b??外部電極

具體實施方式

以下，說明本發明的實施方式的臭氧產生元件及其制造方法。

(臭氧產生元件的結構)

以下，參照附圖，說明一實施方式的臭氧產生元件的結構。圖1是臭氧產生元件10的分解立體圖。在圖1中，將層疊方向定義為z軸方向，在從z軸方向俯視觀察時，將臭氧產生元件10的長邊延伸的方向定義為x軸方向，將臭氧產生元件10的短邊延伸的方向定義為y軸方向。

臭氧產生元件10使用在具有除臭功能、殺菌功能的空氣調節器或空氣清潔器等中。如圖1所示，臭氧產生元件10具備層疊體12、放電電極14、感應電極16、保護層20、外部電極24a、24b及通孔導體v1～v7。

層疊體12是由玻璃陶瓷構成的長方形形狀的基板，具體而言是LTCC基板。LTCC基板的材料的一例是由CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃玻璃與Al₂O₃填料的混合物構成的玻璃陶瓷。通過將呈長方形形狀的電介質層18(18a～18e)以從z軸方向的正方向側向負方向側依次排列的方式層疊而構成層疊體12。電介質層18的厚度例如為50μm以上且250μm以下。在本實施方式中，電介質層18的厚度為130μm。

放電電極14設置在電介質層18a的表面上，是包含銀、銅、鈀(パラジゥム)、氧化釕(酸化ルテニゥム)等導體材料的線狀的導體層。如圖1所示，放電電極14包括對置部14a及連接部14b。對置部14a呈現出具有朝向x軸方向的負方向側突出的半周量的長度的圓弧的形狀。連接部14b與對置部14a的y軸方向的正方向側的端部連接，呈L字型。即，連接部14b從對置部14a的y軸方向的正方向側的端部朝向x軸方向的正方向側延伸，而且，朝向y軸方向的負方向側折彎。連接部14b中的與對置部14a連接的端部的相反側的端部ta位于電介質層18a的對角線的交點附近。而且，放電電極14的厚度例如為5μm以上且20μm以下。在本實施方式中，放電電極14的厚度為10μm。