[發明專利]波長可變濾波器、波長可變濾波器模塊及光譜分析器

有效

• 申請號: 201310047231.3
• 申請日: 2007-01-18
• 公開（公告）號: CN103123417A
• 公開（公告）日: 2013-05-29
• 發明（設計）人: 中村亮介
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G02B26/00
• 分類號: G02B26/00;G01J3/45
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 雒運樸

1.一種波長可變濾波器，其將與第一光反射部和對置于所述第一光反射部的第二光反射部之間的距離相應的波長的光射出向外部，其特征在于，所述波長可變濾波器具備：

第一襯底，其具有所述第二光反射部，且相對于所述第一光反射部可以位移；

第二襯底，其具有所述第一光反射部以及對置于所述第一襯底的所述第二光反射部側的面的第一驅動電極；以及

第三襯底，其具有第二驅動電極，該第二驅動電極對置于所述第一襯底的位于所述第一光反射部相反側的面，

所述第二襯底具有第一凹部和在所述第一凹部的底部形成的第二凹部，所述第一光反射部形成在所述第二凹部的底部。

2.根據權利要求1所述的波長可變濾波器，其中，

對所述第一驅動電極及所述第二驅動電極選擇性施加電壓，在所述第一驅動電極及/或所述第二驅動電極和所述第一襯底之間產生電位差。

3.根據權利要求1所述的波長可變濾波器，其中，

所述第一驅動電極及所述第二驅動電極中的至少之一設置多個。

4.根據權利要求3所述的波長可變濾波器，其中，

所述第一驅動電極及所述第二驅動電極分別設置多個。

5.根據權利要求4所述的波長可變濾波器，其中，

所述第一驅動電極的數目和所述第二驅動電極的數目相同，各第一驅動電極和各第二驅動電極成對。

6.根據權利要求1所述的波長可變濾波器，其中，

所述第一驅動電極的形狀是與所述第二驅動電極的形狀相似的形狀。

7.根據權利要求1所述的波長可變濾波器，其中，

俯視時，所述第一驅動電極設置為圍住所述第一光反射部。

8.根據權利要求1所述的波長可變濾波器，其中，

所述第一襯底以硅為主材料而構成。

9.根據權利要求1所述的波長可變濾波器，其中，

所述第二襯底及所述第三襯底中的至少之一以玻璃為主材料而構成。

10.根據權利要求1所述的波長可變濾波器，其中，

所述第二襯底及所述第三襯底中的至少之一以含有堿金屬離子的玻璃為主材料而構成。

11.根據權利要求1所述的波長可變濾波器，其中，

所述第一襯底通過加工SOI晶片的一Si層而形成。

12.根據權利要求1所述的波長可變濾波器，其中，

在所述第二襯底的位于所述第一襯底相反側的面及/或所述第三襯底的至少一面形成有防反射膜。

13.根據權利要求12所述的波長可變濾波器，其中，

所述防反射膜由電介質多層膜構成。

14.根據權利要求1所述的波長可變濾波器，其中，

所述第一光反射部及所述第二光反射部中的至少之一由電介質多層膜構成。

15.一種波長可變濾波器模塊，其特征在于，

其包括波長可變濾波器，該波長可變濾波器具備：

第二襯底，其具有第一光反射部和第一驅動電極；

第一襯底，其具有隔著間隔與所述第一光反射部對置的第二光反射部，且可以相對所述第一光反射部位移；以及

第三襯底，其具有第二驅動電極，該第二驅動電極隔著間隔與所述第一襯底的位于所述第一光反射部相反側的面對置，

所述第二襯底具有第一凹部和在第一凹部的底部形成的第二凹部，所述第一光反射部形成在所述第二凹部的底部。

16.一種光譜分析器，其特征在于，

其包括波長可變濾波器，該波長可變濾波器具備：

第二襯底，其具有第一光反射部和第一驅動電極；

第一襯底，其具有隔著間隔與所述第一光反射部對置的第二光反射部，且可以相對所述第一光反射部位移；以及

第三襯底，其具有第二驅動電極，該第二驅動電極隔著間隔與所述第一襯底的位于所述第一光反射部相反側的面對置，

所述第二襯底具有第一凹部和在第一凹部的底部形成的第二凹部，所述第一光反射部形成在所述第二凹部的底部。