[發(fā)明專利]晶體生長(zhǎng)溫度梯度測(cè)試方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310047197.X
• 申請(qǐng)日: 2013-02-05
• 公開（公告）號(hào): CN103074670A
• 公開（公告）日: 2013-05-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王佳麒;李佼;高興
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 元亮科技有限公司
• 主分類號(hào): C30B11/00
• 分類號(hào): C30B11/00
• 代理公司: 無(wú)錫市大為專利商標(biāo)事務(wù)所 32104
• 代理人: 殷紅梅

1.?一種晶體生長(zhǎng)溫度梯度測(cè)試方法，其特征是，包括以下步驟：

（1）向單晶生長(zhǎng)爐內(nèi)的坩堝中裝入原料，坩堝外罩設(shè)保溫罩，對(duì)單晶生長(zhǎng)爐進(jìn)行抽真空至1.0×10^-3~1.0×10^-4Pa；

（2）對(duì)單晶生長(zhǎng)爐內(nèi)的發(fā)熱體通電，對(duì)坩堝內(nèi)的原料進(jìn)行加熱，至原料完全熔融得到熔體后，降溫直至下種溫度，恒溫2～3小時(shí)；記下此時(shí)發(fā)熱體的電流I及電勢(shì)U，作為溫度梯度檢測(cè)時(shí)的參考值；?

（3）將籽晶提離熔體的液面，降溫開爐；開爐后，將籽晶桿更換成內(nèi)部裝有鉑-銠熱電偶的雙孔陶瓷管，將陶瓷管內(nèi)部鉑-銠熱電偶的引線與島電控制表連接，以測(cè)試實(shí)時(shí)溫度；

（4）重復(fù)步驟（2），并使發(fā)熱體的電流及電勢(shì)分別為I和U；

（5）軸向溫度測(cè)試：將雙孔陶瓷管的底端下移至離坩堝口60~70mm高度處，該位置為檢測(cè)軸向溫度的初始位置；從初始位置開始，每間隔3~5mm測(cè)量一次溫度，每次停留10~20min島電控制表顯示的數(shù)值即為該位置的軸向?qū)崟r(shí)溫度，記錄該溫度Tn，n為正整數(shù)；當(dāng)雙孔陶瓷管底部距離熔體液面2~5mm處時(shí)，檢測(cè)結(jié)束；得到多組軸向溫度Tn；

（6）徑向溫度測(cè)試：選擇坩堝上方一水平面為基準(zhǔn)水平面，將雙孔陶瓷管底端移至距離保溫罩左側(cè)內(nèi)壁10~15mm處，該位置為檢測(cè)徑向溫度的初始位置；從初始位置開始，沿保溫罩的徑向每間隔3~5mm，將雙孔陶瓷管水平右移一次并測(cè)量溫度，每次停留10~20min島電控制表顯示的數(shù)值即為該位置的徑向?qū)崟r(shí)溫度，記錄該溫度Tn’，n為正整數(shù)；當(dāng)雙孔陶瓷管底部距離保溫罩右側(cè)內(nèi)壁10~15mm處時(shí)，檢測(cè)結(jié)束，得到多組徑向溫度Tn’。