[發(fā)明專利]玻璃表面異物檢查裝置、檢查機及其檢查方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310046334.8
• 申請日: 2013-02-05
• 公開（公告）號: CN103115928A
• 公開（公告）日: 2013-05-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 林勇佑
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號: G01N21/958
• 分類號: G01N21/958
• 代理公司: 深圳市威世博知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44280
• 代理人: 何青瓦

1.一種玻璃表面異物檢查裝置，用于對玻璃板表面進(jìn)行檢查，其特征在于，包括：

激光單元，用于向玻璃板照射激光；

基臺，用于承載所述玻璃板，所述基臺表面設(shè)有吸光材質(zhì)，以將射至玻璃板背面的激光吸收；

圖像傳感單元，用于獲取經(jīng)所述玻璃板表面反射的激光，以對所述玻璃板表面進(jìn)行檢測。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃表面異物檢查裝置，其特征在于，所述吸光材質(zhì)為SiO2吸光涂料。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃表面異物檢查裝置，其特征在于，還包括透鏡，所述玻璃板表面反射的激光經(jīng)所述透鏡到達(dá)所述圖像傳感單元。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃表面異物檢查裝置，其特征在于，還包括反光鏡，所述激光單元照射的激光經(jīng)過所述反光鏡折射后到達(dá)所述玻璃板。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃表面異物檢查裝置，其特征在于，所述激光單元與所述玻璃板垂直。

6.一種玻璃表面異物檢查機，其特征在于，包括權(quán)利要求1至5中任一項所述的玻璃表面異物檢查裝置。

7.一種玻璃表面異物檢查方法，用于對玻璃表面的異物進(jìn)行檢查，其特征在于，包括步驟：

向所述玻璃板照射激光；

將射至所述玻璃板背面的激光吸收；

獲取經(jīng)所述玻璃板表面反射的激光，以對所述玻璃板表面進(jìn)行檢測。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的玻璃表面異物檢查方法，其特征在于，所述玻璃板表面反射的激光經(jīng)所述透鏡到達(dá)所述圖像傳感單元。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的玻璃表面異物檢查方法，其特征在于，向所述玻璃板照射的激光經(jīng)反光鏡折射后到達(dá)所述玻璃板。