[發(fā)明專利]減壓干燥裝置和減壓干燥方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310046137.6
• 申請(qǐng)日: 2013-02-05
• 公開（公告）號(hào): CN103240215A
• 公開（公告）日: 2013-08-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 岡本俊一;內(nèi)瀉外茂夫;奧田大輔
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東麗工程株式會(huì)社
• 主分類號(hào): B05D3/00
• 分類號(hào): B05D3/00;B05C11/10
• 代理公司: 北京天悅專利代理事務(wù)所(普通合伙) 11311
• 代理人: 吳京順;任曉航

1.一種減壓干燥裝置，包括：

腔室部，收納基板；

排氣裝置，排出所述腔室部?jī)?nèi)的氣體；

回收裝置，冷卻氣體，并回收冷卻后產(chǎn)生的液化物；

第一配管，該配管連接所述腔室部和所述排氣裝置，途中經(jīng)由所述回收裝置，

其中，對(duì)腔室部?jī)?nèi)部的氣體通過(guò)所述第一配管并由所述排氣裝置排氣而進(jìn)行減壓，由此對(duì)涂布在基板上的涂布液進(jìn)行減壓干燥，通過(guò)減壓干燥從涂布液揮發(fā)的溶劑在所述回收裝置中通過(guò)冷卻而被液化后回收，

其特征在于，

該減壓干燥裝置進(jìn)一步設(shè)有第二配管，該配管連接所述腔室部和所述排氣裝置，途中不經(jīng)由所述回收裝置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的減壓干燥裝置，其特征在于，該裝置還具有切換部，對(duì)在所述排氣裝置排出所述腔室部?jī)?nèi)的氣體時(shí)經(jīng)由的配管在所述第一配管和第二配管之間進(jìn)行切換。

3.一種減壓干燥方法，利用下述減壓干燥裝置，該裝置包括：

腔室部，收納基板；

排氣裝置，排出氣體；

回收裝置，冷卻氣體，并回收冷卻后產(chǎn)生的液化物；

第一配管，該配管連接所述腔室部和所述排氣裝置，途中經(jīng)由所述回收裝置，

第二配管，該配管連接所述腔室部和所述排氣裝置，途中不經(jīng)由所述回收裝置，

其中，對(duì)腔室部?jī)?nèi)部的氣體通過(guò)所述第一配管并由所述排氣裝置排氣而進(jìn)行減壓，由此對(duì)涂布在基板上的涂布液進(jìn)行減壓干燥，通過(guò)減壓干燥從涂布液揮發(fā)的溶劑在所述回收裝置中通過(guò)冷卻而被液化后回收，

其特征在于，該方法包括：

不回收干燥工序，將所述腔室部?jī)?nèi)部的氣體經(jīng)由所述第二配管排氣而將涂布液進(jìn)行干燥；

回收干燥工序，將所述腔室部?jī)?nèi)部的氣體經(jīng)由所述第一配管排氣而將涂布液進(jìn)行干燥。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的減壓干燥方法，其特征在于，進(jìn)行所述不回收干燥工序后，針對(duì)在所述排氣裝置排出所述腔室部?jī)?nèi)的氣體時(shí)經(jīng)由的配管，從所述第二配管切換到所述第一配管，并繼續(xù)進(jìn)行所述回收干燥工序。