[發(fā)明專利]真空換料水平直線蒸鍍源

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310045492.1
• 申請日: 2013-02-03
• 公開（公告）號: CN103966552A
• 公開（公告）日: 2014-08-06
• 發(fā)明（設計）人: 蔡勇;金晨
• 申請（專利權(quán)）人: 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/56;C23C14/54
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• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于真空技術(shù)領(lǐng)域，具體用于真空鍍膜設備。

背景技術(shù)

目前在真空鍍膜生產(chǎn)中，真空蒸發(fā)技術(shù)已成為主要的技術(shù)之一。其原理為：將膜材置于真空中，通過蒸發(fā)源加熱使其蒸發(fā)，蒸氣的原子或分子從蒸發(fā)源表面逸出，到達被鍍的基片表面上，凝結(jié)后形成薄膜。根據(jù)所鍍薄膜的種類的不同，此技術(shù)涉及到太陽能、電子產(chǎn)品、日用品等行業(yè)，相關(guān)的蒸發(fā)鍍膜設備也發(fā)展迅速。其中蒸鍍源部分是鍍膜系統(tǒng)的核心。因此蒸鍍源的設計制造能力對于整套鍍膜設備的開發(fā)起到了至關(guān)重要的作用。傳統(tǒng)的蒸發(fā)源無法在線更換或補給原料，無法實現(xiàn)連續(xù)化生產(chǎn)。同時采用的是單一加熱方式，蒸發(fā)溫度和蒸發(fā)速率難以控制。因此，需要對其進行改進。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是為了解決上述問題，提出一種真空換料水平直線蒸鍍源，該真空換料水平直線蒸鍍源克服了上述問題。

本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的：一種真空換料水平直線蒸鍍源，包括升華倉儲存真空室及其真空系統(tǒng)、升華倉更換及補給系統(tǒng)、裝置控制系統(tǒng)、蒸鍍源室及其加熱屏蔽系統(tǒng)，其特征在于：采用水平直線下噴式蒸鍍，蒸鍍源室和升華倉儲存室兩部分，兩部分之間以氣動插板閥隔離，可以手動補充新升華倉而不影響生產(chǎn)線的運行。

所述升華倉儲存真空室及其真空系統(tǒng)包括真空腔室、室門、觀察窗、充氣閥、分子泵、機械泵、真空測量計；

所述真空腔室為焊接件；

所述室門、觀察窗、充氣閥、分子泵、真空測量計設置于真空腔室四周；

所述機械泵設置于分子泵后方。

所述升華倉更換及補給系統(tǒng)包括升降及鎖緊系統(tǒng)、高度調(diào)整系統(tǒng)、升華倉換位系統(tǒng)、升華倉、氣動插板閥、手動擋板；

所述升降及鎖緊系統(tǒng)設置于真空腔室上方；

所述高度調(diào)整系統(tǒng)設置于真空腔室下方；

所述升華倉換位系統(tǒng)、升華倉設置于真空腔室內(nèi)部下方；

所述氣動插板閥設置于高度調(diào)整系統(tǒng)下方；

所述手動擋板設置于插板閥下方。

所述裝置控制系統(tǒng)包括升華倉換位控制、升華倉升降控制、升華倉鎖緊控制、氣動插板閥開關(guān)控制、加熱及溫度控制；

所述升華倉換位控制、升華倉升降控制、升華倉鎖緊控制、氣動插板閥開關(guān)控制設置于升降系統(tǒng)側(cè)方；

所述加熱及溫度控制設置于真空腔室外側(cè)。

所述蒸鍍源室及其加熱屏蔽系統(tǒng)包括升華倉加熱裝置、三倉加熱系統(tǒng)、熱屏蔽系統(tǒng)。

所述升華倉加熱裝置設置于氣動插板閥下方；

所述三倉加熱系統(tǒng)設置于升華倉加熱裝置下方；

所述熱屏蔽系統(tǒng)設置于升華倉加熱裝置、三倉加熱系統(tǒng)外側(cè)。

所述三倉加熱系統(tǒng)包括加熱器壓片、熱電偶固定塊1、噴口板、三倉焊接件、升華倉加熱裝置、鎧裝加熱器1、鎧裝加熱器2、鎧裝熱電偶1、鎧裝熱電偶2、六角螺母、十字槽沉頭螺釘、十字槽盤頭螺釘、內(nèi)六角平端緊定螺釘。

所述三倉焊接件主要由三倉組件吊板、分配倉焊接件、均壓倉焊接件和噴口倉焊接件焊接而成；

所述分配倉焊接件主要由分配倉、分配倉連接座焊接而成；

所述均壓倉焊接件主要由均壓倉、均壓倉封蓋、均壓倉彎板焊接而成；

所述噴口倉焊接件主要噴口倉彎板、噴口板固定板焊接而成；

所述升華倉加熱裝置設置于三倉焊接主體上方，由4個內(nèi)六角圓柱頭螺釘1旋緊連接；

所述噴口板設置于三倉焊接件主體下方，由24個十字槽盤頭螺釘旋緊連接；

所述熱電偶固定塊1和十字槽沉頭螺釘配焊于三倉焊接件表面；

所述鎧裝加熱器1、鎧裝加熱器2、鎧裝熱電偶1、鎧裝熱電偶2設置于三倉焊接件表面；

所述加熱器壓片、內(nèi)六角平端緊定螺釘和六角螺母設置于三倉焊接件表面，用于固定所述鎧裝加熱器1、鎧裝加熱器2、鎧裝熱電偶1、鎧裝熱電偶2。

所述升華倉加熱裝置包括隔熱墊、固定架、壓片、隔套、冷卻管、鎧裝加熱器3、升華倉加熱裝置框架、鎧裝熱電偶3、內(nèi)六角圓柱頭螺釘1、內(nèi)六角圓柱頭螺釘2、內(nèi)六角圓柱頭螺釘3、內(nèi)六角平端緊定螺釘、平墊圈、彈簧墊圈。

所述升華倉加熱裝置框架主要由底盤、支桿、頂板和熱電偶固定塊2焊接而成；

所述隔熱墊設置于升華倉加熱裝置框架下方；

所述隔套設置于升華倉加熱裝置框架底盤外側(cè)；

所述鎧裝加熱器3設置于升華倉加熱裝置框架支桿外側(cè)；

所述冷卻管設置于鎧裝加熱器3外側(cè)；