[發明專利]涂布裝置

有效

• 申請號: 201310044987.2
• 申請日: 2013-02-04
• 公開（公告）號: CN103288356A
• 公開（公告）日: 2013-09-11
• 發明（設計）人: 上野雅敏;小瀬弘和
• 申請（專利權）人: 大日本網屏制造株式會社
• 主分類號: C03C17/00
• 分類號: C03C17/00
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 臧建明;張洋

技術領域

本發明涉及一種涂布裝置，該涂布裝置將涂布液涂布至有機電致發光(Electro?Luminescence，EL)顯示裝置用玻璃(glass)基板、液晶顯示裝置用玻璃基板、等離子顯示面板(Plasma?Display?Panels，PDP)用玻璃基板、太陽電池用基板、電子紙(electronic?paper)用基板或半導體制造裝置用掩模(mask)基板等基板。

背景技術

以往使用的涂布裝置是借由掃描噴出涂布液的噴嘴(nozzle)，將涂布液涂布至基板，近年來，在將包含像素形成材料的涂布液涂布至平面顯示裝置用的玻璃的基板時，也研究了應用方面。典型的例子是使噴嘴向沿著基板上所形成的間隔壁的主掃描方向移動，每當朝向主掃描方向的移動完成時，使基板向與主掃描方向垂直的副掃描方向移動，借此，將涂布液涂布成以規定的間距(pitch)排列的條紋(stripe)狀。在此種涂布裝置中，利用具有可撓性的涂布液管(tube)，將涂布液的供給源與噴嘴之間予以連接，借此，能夠總是將涂布液供給至移動的噴嘴。另外，在涂布裝置中，也可將多個噴嘴排列設置于噴出部，使噴出部向與噴嘴的排列方向交叉的主掃描方向移動，借此，在短時間內將涂布液涂布至基板上。

再者，在專利文獻1中揭示了如下的內容：將多根涂布液管配置在氣體供給管的周圍，由捆束材緊貼著多根涂布液管的整個外周，將該外周予以覆蓋，借此，捆束所述管而構筑管群。借由以所述方式構筑管群，將涂布液涂布至基板上時的變形受到抑制，實現了將涂布液均一地涂布至基板上。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1日本專利特開2009-131735號公報

發明內容

發明所欲解決的課題

此外，在專利文獻1所揭示的涂布裝置中，由于需要柔軟性，因此，構筑管群的涂布液管使用了特富龍(Teflon)(注冊商標)系材料。另外，所述裝置所涂布的涂布液使用了有機電致發光(EL，Electro?Luminescence)材料，一般而言，有機EL材料存在如下的問題：發光壽命會因與氧發生接觸而縮短。因此，在使用專利文獻1所揭示的裝置來涂布有機EL材料的情況下，氧會穿透特富龍(注冊商標)系材料所制作的涂布液管，從而有可能會對有機EL材料產生不良影響(例如使有機EL材料的壽命縮短)。

本發明是鑒于所述問題而成的發明，本發明的目的在于在如下的涂布裝置中，防止供給途中的涂布液與氧等發生接觸，而所述涂布裝置一面使包括多個噴出口的噴出部高速地移動，一面進行涂布。

解決課題的技術手段

第一技術方案是將涂布液涂布至基板的涂布裝置，包括：基板保持部，水平地保持著基板；噴出部，從多個噴出口向基板噴出涂布液，所述多個噴出口沿著與基板呈平行的副掃描方向排列；主掃描機構，包括：引導部，向與副掃描方向垂直且與基板呈平行的主掃描方向延伸；及滑動件，一面卡合于引導部，一面將氣體噴出至該滑動件與引導部之間，借此，以非接觸狀態支撐于引導部；且所述主掃描機構使安裝于滑動件的噴出部向主掃描方向移動；副掃描機構，每當噴出部的朝向主掃描方向的移動完成時，使基板相對于噴出部，向副掃描方向相對地移動；管群，以一體地將氣體供給管與多個涂布液管予以覆蓋的方式，利用捆束材來捆束所述氣體供給管與所述多個涂布液管而成，所述氣體供給管具有可撓性且將氣體供給至滑動件，所述多個涂布液管各自具有可撓性且將涂布液供給至噴出部；連接容器，與管群的處于噴出部相反側的端部連結；供氣部，將惰性氣體供給至連接容器內；涂布液供給部，將涂布液供給至涂布液管；以及氣體供給部，將氣體供給至氣體供給管，供氣部將供給至連接容器內的惰性氣體供給至間隙，該間隙是因捆束氣體供給管與多個涂布液管而形成的間隙。

在以所述方式構成的發明中，將惰性氣體經由連接容器而供給至具有可撓性的涂布液管與管群之間所形成的間隙，所述管群是捆束氣體供給管而成的管群，借此，可在涂布液管的周圍形成由惰性氣體產生的層，因此，可防止氧穿透涂布液管而使在該管中流動的涂布液暴露于氧。借此，可防止因氧而使涂布液的壽命縮短等。