[發(fā)明專利]一種電泳輔助的造渣除硼方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310044709.7
• 申請日: 2013-02-04
• 公開（公告）號: CN103072994A
• 公開（公告）日: 2013-05-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李偉生;龔炳生;陳曉萍
• 申請（專利權(quán)）人: 福建興朝陽硅材料股份有限公司
• 主分類號: C01B33/037
• 分類號: C01B33/037
• 代理公司: 北京元中知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11223
• 代理人: 王明霞

1.一種電泳輔助的造渣除硼方法，其特征在于，所述的方法包括以下步驟：

（1）將原料硅裝入石墨坩堝中感應(yīng)加熱至完全熔化為硅液，保持硅液溫度在1500～1800℃；

（2）將造渣劑加入硅液中，加熱熔化后與硅液充分接觸反應(yīng)；

（3）將石墨板放置于熔融硅液的上表面，石墨板與外界直流電壓的負(fù)極相接，石墨坩堝與外界直流電壓的正極相接，向石墨坩堝施加直流電壓，通電1～6小時后，使反應(yīng)后的硼化物及金屬雜質(zhì)向負(fù)極遷移進入渣中；

（4）保持硅液溫度在1450～1550℃，在通電狀態(tài)下，石墨坩堝以0.10～0.15mm/min的速率下降，離開加熱區(qū)，進行定向凝固，冷卻后取出硅錠，并切除上層雜質(zhì)富集區(qū)，得到提純后的多晶硅。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電泳輔助的造渣除硼方法，其特征在于，在步驟（1）中，所述的硅中雜質(zhì)的含量為：B為2ppm，F(xiàn)e為747ppm，Al為535ppm，Ca為29ppm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電泳輔助的造渣除硼方法，其特征在于，在步驟（2）中，所述造渣劑為Na₂CO₃-TiO₂-SiO₂復(fù)合渣系，其組成按質(zhì)量百分比為：Na₂CO₃30～40%，TiO₂10～20%，余為SiO₂；優(yōu)選Na₂CO₃30～35%，TiO₂15～20%，余為SiO₂。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電泳輔助的造渣除硼方法，其特征在于，在步驟（2）中，原料硅與造渣劑的質(zhì)量比為1：0.5～1。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電泳輔助的造渣除硼方法，其特征在于步驟（3）中，電泳電源為直流電源，電壓為10～100V，優(yōu)選10～50V。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電泳輔助的造渣除硼方法，其特征在于步驟（3）中，通電時間為2～4小時。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電泳輔助的造渣除硼方法，其特征在于步驟（4）中，所切除的上層雜質(zhì)富集區(qū)厚度占整個硅錠的10%。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電泳輔助的造渣除硼方法，其特征在于步驟（4）中，得到的目標(biāo)產(chǎn)品中的B的含量為0.2～0.3ppm、金屬雜質(zhì)的含量小于0.1ppm。