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[發明專利]一種電泳輔助的造渣除硼方法有效

專利信息
申請號: 201310044709.7 申請日: 2013-02-04
公開(公告)號: CN103072994A 公開(公告)日: 2013-05-01
發明(設計)人: 李偉生;龔炳生;陳曉萍 申請(專利權)人: 福建興朝陽硅材料股份有限公司
主分類號: C01B33/037 分類號: C01B33/037
代理公司: 北京元中知識產權代理有限責任公司 11223 代理人: 王明霞
地址: 364211 福建省*** 國省代碼: 福建;35
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 電泳 輔助 造渣 方法
【權利要求書】:

1.一種電泳輔助的造渣除硼方法,其特征在于,所述的方法包括以下步驟:

(1)將原料硅裝入石墨坩堝中感應加熱至完全熔化為硅液,保持硅液溫度在1500~1800℃;

(2)將造渣劑加入硅液中,加熱熔化后與硅液充分接觸反應;

(3)將石墨板放置于熔融硅液的上表面,石墨板與外界直流電壓的負極相接,石墨坩堝與外界直流電壓的正極相接,向石墨坩堝施加直流電壓,通電1~6小時后,使反應后的硼化物及金屬雜質向負極遷移進入渣中;

(4)保持硅液溫度在1450~1550℃,在通電狀態下,石墨坩堝以0.10~0.15mm/min的速率下降,離開加熱區,進行定向凝固,冷卻后取出硅錠,并切除上層雜質富集區,得到提純后的多晶硅。

2.根據權利要求1所述的一種電泳輔助的造渣除硼方法,其特征在于,在步驟(1)中,所述的硅中雜質的含量為:B為2ppm,Fe為747ppm,Al為535ppm,Ca為29ppm。

3.根據權利要求1所述的一種電泳輔助的造渣除硼方法,其特征在于,在步驟(2)中,所述造渣劑為Na2CO3-TiO2-SiO2復合渣系,其組成按質量百分比為:Na2CO330~40%,TiO210~20%,余為SiO2;優選Na2CO330~35%,TiO215~20%,余為SiO2

4.根據權利要求1所述的一種電泳輔助的造渣除硼方法,其特征在于,在步驟(2)中,原料硅與造渣劑的質量比為1:0.5~1。

5.根據權利要求1所述的一種電泳輔助的造渣除硼方法,其特征在于步驟(3)中,電泳電源為直流電源,電壓為10~100V,優選10~50V。

6.根據權利要求1所述的一種電泳輔助的造渣除硼方法,其特征在于步驟(3)中,通電時間為2~4小時。

7.根據權利要求1所述的一種電泳輔助的造渣除硼方法,其特征在于步驟(4)中,所切除的上層雜質富集區厚度占整個硅錠的10%。

8.根據權利要求1所述的一種電泳輔助的造渣除硼方法,其特征在于步驟(4)中,得到的目標產品中的B的含量為0.2~0.3ppm、金屬雜質的含量小于0.1ppm。

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