[發明專利]一種有效恢復離子注入金剛石損傷的方法

無效

• 申請號: 201310043955.0
• 申請日: 2013-02-04
• 公開（公告）號: CN103074688A
• 公開（公告）日: 2013-05-01
• 發明（設計）人: 徐宗偉;李萬里;房豐洲;兀偉
• 申請（專利權）人: 天津大學
• 主分類號: C30B33/04
• 分類號: C30B33/04;C30B31/22
• 代理公司: 天津市北洋有限責任專利代理事務所 12201
• 代理人: 程毓英

1.一種有效恢復離子注入金剛石損傷的方法，其特征在于，將經過離子注入加工的金剛石材料放置在激光設備的樣品臺上，在激光器和樣品臺之間加入能量儀以檢測激光的出射能量，調節激光的出射能量至100mW-3000mW，關閉激光器，取出能量儀，調節樣品臺使得金剛石材料處于激光出射透鏡的焦距處，調節激光器的照射時間為5ms-5000ms，打開激光器進行恢復處理。

2.根據權利要求1所述的有效恢復離子注入金剛石損傷的方法，其特征在于，所述的激光器為摻鐿光子晶體光纖飛秒激光器或摻鈦藍寶石激光器。