[發(fā)明專利]霧化清洗裝置和方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310043381.7
• 申請(qǐng)日: 2013-01-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103071638A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-05-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉效巖;吳儀;初國(guó)超;王浩
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
• 主分類號(hào): B08B3/02
• 分類號(hào): B08B3/02;B08B13/00
• 代理公司: 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 韓國(guó)勝

1.一種霧化清洗裝置，其特征在于，所述霧化清洗裝置包括冷卻結(jié)構(gòu)（3）、氣動(dòng)霧化結(jié)構(gòu)（5）以及固定于所述氣動(dòng)霧化結(jié)構(gòu)（5）之上諧振霧化結(jié)構(gòu)，所述冷卻結(jié)構(gòu)（3）固定于所述諧振霧化結(jié)構(gòu)之上，所述諧振霧化結(jié)構(gòu)包括換能器和諧振器（6），所述諧振器（6）上設(shè)有排液孔（15），所述氣動(dòng)霧化結(jié)構(gòu)（5）上開(kāi)有第二進(jìn)液孔、第二進(jìn)氣孔（8）和霧化噴射口（10），所述排液孔（15）與所述第二進(jìn)液孔相連，所述第二進(jìn)液孔與所述霧化噴射口（10）連通，所述第二進(jìn)氣孔（8）和所述霧化噴射口（10）連通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的霧化清洗裝置，其特征在于，所述排液孔（15）與所述第二進(jìn)液孔通過(guò)導(dǎo)管（4）相連；所述冷卻結(jié)構(gòu)（3）為上端封閉且下端開(kāi)口的圓柱形殼體，冷卻結(jié)構(gòu)（3）的側(cè)壁上設(shè)有第三進(jìn)氣孔（2）和排氣孔（11），所述冷卻結(jié)構(gòu)（3）的封閉端設(shè)有電纜接頭（1），所述電纜接頭（1）與所述換能器相連。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的霧化清洗裝置，其特征在于，所述冷卻結(jié)構(gòu)（3）的內(nèi)部從封閉端向下延伸出與所述冷卻結(jié)構(gòu)（3）的側(cè)壁同心的第二環(huán)狀薄壁，所述第二環(huán)狀薄壁與所述冷卻結(jié)構(gòu)（3）的側(cè)壁之間的空間為第二外環(huán)，所述第二環(huán)狀薄壁內(nèi)的空間為第二內(nèi)環(huán)，所述第三進(jìn)氣孔（2）設(shè)置于冷卻結(jié)構(gòu)（3）的封閉端且與所述第二內(nèi)環(huán)相連，所述排氣孔（11）設(shè)置于所述冷卻結(jié)構(gòu)（3）的側(cè)壁上且與所述第二外環(huán)相連，所述第二環(huán)狀薄壁下端均布有連通第二外環(huán)與第二內(nèi)環(huán)的第二通孔（12）。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的霧化清洗裝置，其特征在于，所述換能器包括壓電晶體（13）和耦合片（19），所述壓電晶體（13）通過(guò)導(dǎo)電膠與耦合片（19）連接，所述耦合片（19）位于所述諧振器（6）之上且將所述冷卻結(jié)構(gòu)（3）的下端密封。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的霧化清洗裝置，其特征在于，所述耦合片（19）由單一介質(zhì)或多介質(zhì)制成，厚度為1/4波長(zhǎng)的整數(shù)倍。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的霧化清洗裝置，其特征在于，所述諧振器（6）為上端開(kāi)口且下端封閉的圓筒結(jié)構(gòu)，其上端開(kāi)口通過(guò)所述耦合片（19）密封，所述諧振器（6）的側(cè)壁上還設(shè)有第一進(jìn)氣孔（7）、第一進(jìn)液孔（18）。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的霧化清洗裝置，其特征在于，所述諧振器（6）的內(nèi)部從封閉端向上延伸出與所述諧振器（6）的側(cè)壁同心的第一環(huán)狀薄壁，所述第一環(huán)狀薄壁與所述諧振器（6）的側(cè)壁之間的空間為第一外環(huán)（16），所述第一環(huán)狀薄壁內(nèi)的空間為第一內(nèi)環(huán)（20），所述第一進(jìn)氣孔（7）和所述第一進(jìn)液孔（18）設(shè)置于所述諧振器（6）的側(cè)壁上且與所述第一外環(huán)（16）連通，所述排液孔（15）設(shè)置于第一環(huán)狀薄壁上部且與所述第一內(nèi)環(huán)（20）連通，所述諧振器（6）的側(cè)壁上開(kāi)有安裝導(dǎo)管（4）的第一安裝孔，所述第一環(huán)狀薄壁下端均布有連通第一外環(huán)（16）與第一內(nèi)環(huán)（20）的第一通孔（17）。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的霧化清洗裝置，其特征在于，在所述第一外環(huán)（16）與所述耦合片（19）之間設(shè)有一個(gè)圓環(huán)形擋板，所述擋板下部沿軸向延伸出凸出部分，使擋板的橫截面成“T”字型，所述擋板下部的凸出部分插入第一外環(huán)（16）并與第一外環(huán)（16）上部粘合。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的霧化清洗裝置，其特征在于，所述擋板的下端面在所述第一通孔（17）之上，所述擋板上開(kāi)有用于安裝導(dǎo)管（4）的第二安裝孔。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的霧化清洗裝置，其特征在于，所述氣動(dòng)霧化結(jié)構(gòu)（5）為圓柱體，在所述氣動(dòng)霧化結(jié)構(gòu)（5）的中心軸上開(kāi)孔形成霧化噴射口（10），在所述氣動(dòng)霧化結(jié)構(gòu)（5）的徑向開(kāi)有第二進(jìn)液孔。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的霧化清洗裝置，其特征在于，所述氣動(dòng)霧化結(jié)構(gòu)（5）的上端設(shè)有法蘭，所述冷卻結(jié)構(gòu)（3）、諧振器（6）和氣動(dòng)霧化結(jié)構(gòu)（5）通過(guò)螺栓固定連接。

12.根據(jù)權(quán)利要求1-11任一項(xiàng)所述的霧化清洗裝置進(jìn)行霧化清洗的方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1.將第一進(jìn)氣孔（7）、第二進(jìn)氣孔（8）和第三進(jìn)氣孔（2）與外部氣路連接，將第一進(jìn)液孔（18）與外部液路連接；

S2.將電纜接頭（1）與功率放大器連接，將交變電壓施加給壓電晶體（13），使壓電晶體（13）產(chǎn)生振動(dòng)形成兆聲波，使諧振器（6）內(nèi)的液體分裂成超微液滴流并通過(guò)導(dǎo)管（4）進(jìn)入氣動(dòng)霧化結(jié)構(gòu)（5）；

S3.在從第二進(jìn)氣孔（8）通入的壓縮空氣的作用下，所述超微液滴流分解成單一的超微液滴，從霧化噴射口（10）噴出，將霧化噴射口（10）對(duì)準(zhǔn)需要清洗的半導(dǎo)體晶片進(jìn)行清洗。