[發明專利]產生寬帶可調諧相干極紫外或軟X射線的裝置

無效

• 申請號: 201310041970.1
• 申請日: 2013-02-04
• 公開（公告）號: CN103138149A
• 公開（公告）日: 2013-06-05
• 發明（設計）人: 李佳蔚;蘆慧;趙詩童;劉鵬
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
• 主分類號: H01S4/00
• 分類號: H01S4/00
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 張澤純

1.一種利用高次諧波產生寬帶可調諧相干極紫外或軟X射線的裝置,其特征在于該裝置包括飛秒激光器（1）、半波片（3）、高對比度反射式偏振器（4）、聚焦透鏡（5）、真空腔（7）、三維調整架（8）和噴氣靶（9），上述元部件的位置關系如下：

所述的真空腔（7）具有四個窗口：所述的第一窗口和第三窗口與真空腔（7）的中心成一直線，第三窗口與第四窗口的連線與所述的直線相互垂直，第一窗口設有窗片（6），第三窗口為出光口貼有濾光膜（11），沿所述的飛秒激光器（1）輸出的激光方向依次是所述的半波片（3）、高對比度反射式偏振器（4）、聚焦透鏡（5）、真空腔（7）第一窗口的窗片（6）、噴氣靶（9）噴出的氖氣（10）和位于真空腔（7）第三窗口上的濾光膜（11），所述的噴氣靶（9）的連通管裝設在位于所述的真空腔（7）第二窗口外的三維調整架（8）上，所述的半波片（3）具有角度調節機構，所述的飛秒激光器（1）輸出的激光束（2）首先經過所述的半波片（3）和個高對比度反射式偏振器（4）組成的光束能量調節系統，然后穿過所述的聚焦透鏡（5）和窗片（6）聚焦到所述的真空腔（7）中所述的聚焦透鏡（5）的焦點，通過調節所述的三維調整架（8）使所述的噴氣靶（9）噴出的氖氣（10）對準所述的焦點，所述的飛秒激光與所述的氖氣（10）作用產生的極紫外或軟X射線經真空腔體（7）的濾光膜（11）輸出。

2.根據權利要求1所述的產生寬帶可調諧相干極紫外或軟X射線的裝置，其特征在于所述的半波片（3）和反射式偏振器（4）組成的光束能量調節系統可由其他具有調節光束能量的裝置代替。

3.根據權利要求1所述的產生寬帶可調諧相干極紫外或軟X射線的裝置，其特征在于所述的聚焦透鏡（5）為球面透鏡、拋物面鏡或透鏡組。

4.根據權利要求1所述的產生寬帶可調諧相干極紫外或軟X射線的裝置，其特征在于所述的濾光膜（11），收集光子能量在72ev以下的極紫外射線時采用鋁膜，收集光子能量在72ev以上的極紫外射線時濾光膜（11）采用鋯膜。