[發明專利]MOCVD設備的尾氣顆粒過濾系統及方法

有效

• 申請號: 201310040758.3
• 申請日: 2013-01-31
• 公開（公告）號: CN103203135A
• 公開（公告）日: 2013-07-17
• 發明（設計）人: 吳迅飛;謝文通
• 申請（專利權）人: 上海博恩世通光電股份有限公司
• 主分類號: B01D46/00
• 分類號: B01D46/00;B01D46/42
• 代理公司: 上海光華專利事務所 31219
• 代理人: 余明偉

1.一種MOCVD設備的尾氣顆粒過濾系統，其特征在于，所述MOCVD設備的尾氣顆粒過濾系統包括：

用于吸附所述MOCVD設備的尾氣顆粒的一級顆粒吸附系統；

冷卻系統，設置于所述一級顆粒吸附系統中，用以與所述一級顆粒吸附系統結合實現對所述MOCVD設備的尾氣的快速降溫和顆粒吸附；

二級顆粒吸附系統，與所述一級顆粒吸附系統相連，用以實現所述MOCVD設備的尾氣顆粒的再吸附。

2.根據權利要求1所述的MOCVD設備的尾氣顆粒過濾系統，其特征在于：所述一級顆粒吸附系統為第一不銹鋼腔室；所述第一不銹鋼腔室內設置有金屬過濾網絲；所述第一不銹鋼室設有一級過濾進氣口和一級過濾排氣口；所述一級過濾進氣口連接在所述MOCVD設備的反應室后端。

3.根據權利要求2所述的MOCVD設備的尾氣顆粒過濾系統，其特征在于：所述冷卻系統為一循環水水管，所述循環水水管內外交替纏繞于所述第一不銹鋼腔室的側壁。

4.根據權利要求2所述的MOCVD設備的尾氣顆粒過濾系統，其特征在于：所述冷卻系統包括一內循環水水管，所述內循環水水管均勻分布內置于所述第一不銹鋼腔室中。

5.根據權利要求4所述的MOCVD設備的尾氣顆粒過濾系統，其特征在于：所述冷卻系統還包括一外循環水水管，所述外循環水水管均勻分布設置于所述第一不銹鋼腔室的外表面；所述外循環水水管的一端口與所述內循環水水管的一端口相接。

6.根據權利要求3或5所述的MOCVD設備的尾氣顆粒過濾系統，其特征在于：所述循環水水管的接頭采用swagelok快插頭直接接在所述MOCVD設備的循環水預留插口；所述內循環水水管的另一端口與所述外循環水水管的另一端口均采用swagelok快插頭直接接在所述MOCVD設備的循環水預留插口。

7.根據權利要求2至5任意一項所述的MOCVD設備的尾氣顆粒過濾系統，其特征在于：所述二級顆粒吸附系統為第二不銹鋼腔室；所述第二不銹鋼腔室內設有濾芯；所述第二不銹鋼室設有二級過濾進氣口和二級過濾排氣口，所述二級過濾進氣口通過波紋管與所述一級過濾排氣口相接；所述二級過濾排氣口連接在所述MOCVD設備的機械泵前端。

8.一種MOCVD設備的尾氣顆粒過濾方法，其特征在于，所述MOCVD設備的尾氣顆粒過濾方法包括：

步驟一，利用冷卻系統和一級顆粒吸附系統相結合的方式對所述MOCVD設備的尾氣同時進行降溫和一級顆粒吸附過濾；

步驟二，利用二級顆粒吸附系統對經過一級顆粒吸附過濾后的尾氣進行二級顆粒吸附過濾。

9.根據權利要求8所述的MOCVD設備的尾氣顆粒過濾方法，其特征在于：所述冷卻系統設置于所述一級顆粒吸附系統中，所述一級顆粒吸附系統還包括填充在所述冷卻系統縫隙中的金屬過濾網絲；所述MOCVD設備的尾氣在經過所述一級顆粒吸附系統中的冷卻系統和金屬過濾網絲時實現降溫和一級顆粒吸附過濾；再經過所述二級顆粒吸附系統中的濾芯實現二級顆粒吸附過濾。

10.根據權利要求8至9任意一項所述的MOCVD設備的尾氣顆粒過濾方法，其特征在于：所述冷卻系統為循環水水管，所述循環水水管中的循環水由所述MOCVD設備的恒溫水箱提供，循環水由所述恒溫水箱流入到循環水水管，再回流到所述恒溫水箱中。