[發明專利]帶有至少一個閥的組件

有效

• 申請號: 201310040200.5
• 申請日: 2013-02-01
• 公開（公告）號: CN103244751A
• 公開（公告）日: 2013-08-14
• 發明（設計）人: U.席斯特爾
• 申請（專利權）人: VAT控股公司
• 主分類號: F16K49/00
• 分類號: F16K49/00;F16K27/00;F16K51/02
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 陳浩然;楊國治

技術領域

本發明涉及一種帶有至少一個閥、尤其真空閥的組件，其帶有閥的用于封閉至少一個通過口(Durchlassoeffnung)的至少一個鎖閉機構和用于在關閉位置(在其中鎖閉機構封閉通過口)與至少一個打開位置(在其中鎖閉機構至少局部地開啟通過口)之間調節鎖閉機構的至少一個驅動裝置，其中，閥為了鎖閉機構的熱加載具有與鎖閉機構導熱地連接的且優選地永久地相對于通過口封閉的用于至少一個載熱流體(Waermetraegerfluid)的至少一個室，其中，該組件的至少一個輸入管路通到室中，為了鎖閉機構的熱加載，載熱流體可通過輸入管路導入室中。

背景技術

為了能夠以現在所需的質量制造電子構件(例如半導體、LED、純平顯示器和太陽能構件)，已知在借助于閥封閉的真空室中加工硅載體、玻璃基底(Glassubstrate)等。在現有技術中對此已知閥的最不同的設計變體。閥例如用于配量流入真空室中的或者從其中流出的介質、尤其氣體。但是其它的閥也用作入口或者出口，穿過其可將待處理的對象(如硅載體、玻璃基底等)引入真空室中或者從其中取出。經常必要的是，為了阻止或者至少為了減少污物或者過程氣體(Prozessgasen)在閥的鎖閉機構處的沉積，其必須被帶到一定的溫度上。在此常常要提前加熱。但是閥的鎖閉機構的冷卻也可以是必需的。通過鎖閉機構的相應的熱加載也可提供或者支持所需的過程溫度。在現有技術中已知這種類型的組件，在其中可以借助于被引入所提及的室中的載熱流體來熱加載鎖閉機構。這些基本的想法例如已從文件DE?942?772中已知并且還在更新的文件、例如DE?698?14?296?T2中復述。

發明內容

現在本發明的任務是將用于鎖閉機構的借助于載熱流體的熱加載的能量需求保持得盡可能低。

本發明為此提出，在輸入管路中布置有至少一個換熱器用于載熱流體的熱加載。

通過根據本發明的用于載熱流體的熱加載的換熱器的使用，在系統中存在的并且/或者在其它部位處不需要的熱能可被用于載熱流體的熱加載且因此用于鎖閉機構的熱加載。在此不僅可在組件自身內利用可能在其它部位處多余的熱或者冷(K?lte)，通過例如設置成，換熱器起作用地布置在輸出管路與輸入管路之間，以用于在從室中通過組件的輸出管路流出的載熱流體與通過輸入管路流入室中的載熱流體之間的熱交換。備選地但是也與此相組合，熱能但是也可以從其它系統被輸送到該組件上且尤其到輸入管路中的載熱流體上。本發明的優選的設計形式就此而言設置成，換熱器起作用地布置在輸入管路與另一載熱流體系統之間，以用于在通過輸入管路流入室中的載熱流體與其它載熱流體之間的熱交換。就此而言，當另一載熱流體系統是用于閥的罩住鎖閉機構和通過口的殼體的熱加載的加熱和/或冷卻組件時，是特別有利的。熱加載不僅可以是加熱，而且可以是冷卻。合適的載熱流體不僅可以是液態的而且可以是氣態的。例如可使用空氣、氮氣、加熱用蒸汽(Heizdampf)、CO2、必要時過濾的煙氣、但是還有一氧化二氮作為氣態的載熱流體。作為冷卻劑例如可使用不同的鹵化的碳氫化合物(FCKW’s)，例如R134A?(四氟甲烷)、R11、R14和R22。作為帶有特別高的熱容量的氣體也可考慮氫氣、氦氣、甲烷、氨氣以及各種揮發性的碳氫化合物，這里僅列舉一些示例。

該組件的閥特別優選地是所謂的真空閥，其被應用在真空技術中。提及真空技術是指在運行狀態中壓力小于等于0.001毫巴或0.1帕斯卡。真空閥適合于或者設置成被應用在以該數量級和其之下的低壓中。當然，本發明但是也可以被運用在帶有被用于其它領域的閥的組件。

根據本發明的閥可被用于介質配量或者說尤其用于氣體配量。根據本發明的組件的閥但是也可用于將待加工的工件穿過其引入真空室中和/或從其中取出。相應地，根據本發明的組件的閥的鎖閉機構可以是所謂的閥盤，但是也可以是閘板(Schieber)、尤其楔形的閘板，僅列舉鎖閉機構的最常見的設計形式。通過口是閥的開口，其可以借助于鎖閉機構來關閉和開啟。待配量的氣體或介質流動通過通過口，或待加工的工件通過通過口可被引入真空室中或從其中取出。用于移動鎖閉機構的合適的驅動裝置的選擇取決于鎖閉機構的類型。在現有技術中大量的不同的合適的驅動裝置(例如液壓的、氣動的和/或電氣的類型)可供使用，在實施本發明時可以從其中選取。該室(載熱流體被導入其中以加熱鎖閉機構)有利地永久地相對于通過口封閉。所提及的室中的載熱流體即不是應借助于鎖閉機構經由通過口來配量或封閉的介質。載熱流體主要用于穿過室壁部來加熱和/或冷卻鎖閉機構。用于載熱流體的熱加載的換熱器在優選的設計形式中位于閥的殼體之外。