[發(fā)明專利]一種以冷噴涂方法制備的難熔金屬旋轉(zhuǎn)濺射靶材

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310040149.8
• 申請日: 2013-02-01
• 公開（公告）號: CN103060793A
• 公開（公告）日: 2013-04-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 莊志杰
• 申請（專利權(quán)）人: 基邁克材料科技（蘇州）有限公司
• 主分類號: C23C24/04
• 分類號: C23C24/04;C23C14/34
• 代理公司: 上海宏威知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31250
• 代理人: 郭春遠

1.一種以冷噴涂方法制備的難熔金屬旋轉(zhuǎn)濺射靶材，其特征是：采用冷噴涂方法制備難熔金屬旋轉(zhuǎn)濺射靶材，基管為不銹鋼管，噴涂用難熔金屬粉純度≥99.95%，粒度：150～500目，冷噴涂噴嘴進口處工作氣壓力為2～3Mpa，溫度300～500℃；工作氣加熱到500～850℃,增壓至3.0～3.5Mpa；采用N₂為工作氣，N₂流量為28～60米³/時；最后獲得靶材靶材厚度6～9毫米，靶材密度95～98%，純度≥99.95%，含氧量≤1000ppm。

2.如權(quán)利要求1所述的一種以冷噴涂方法制備的難熔金屬旋轉(zhuǎn)濺射靶材，其特征在于，采用冷噴涂方法制備鉬金屬旋轉(zhuǎn)濺射靶材，基管為316L不銹鋼管，噴涂用金屬鉬粉純度≥99.95%，粒度：300～500目，冷噴涂噴嘴進口處工作氣壓力為2.6Mpa，溫度380℃；噴咀喉頸直徑2.9mm，出口直徑9.0mm；噴涂距離35～55mm；工作氣加熱到800℃,增壓至3.5Mpa；采用N₂為工作氣，N₂流量為28～58米³/時；最后獲得靶材靶材厚度6毫米，靶材密度95%，純度≥99.95%，含氧量1000ppm。

3.如權(quán)利要求1所述的一種以冷噴涂方法制備的難熔金屬旋轉(zhuǎn)濺射靶材，其特征在于，采用冷噴涂方法制備鈮金屬旋轉(zhuǎn)濺射靶材，基管為316L不銹鋼管，噴涂用金屬鈮粉純度≥99.99%，中心D50粒度：150～200目，冷噴涂噴嘴進口處工作氣壓力為2.0Mpa，溫度300℃，噴咀喉頸直徑2.9mm，出口直徑9.0mm；噴涂距離35～55mm，工作氣加熱到600℃,增壓至3.0Mpa；采用N₂為工作氣，N₂流量為28～58米³/時；最后獲得靶材靶材厚度6毫米，靶材密度98%，純度≥99.95%，含氧量?1000ppm。

4.如權(quán)利要求1所述的一種以冷噴涂方法制備的難熔金屬旋轉(zhuǎn)濺射靶材，其特征在于，采用冷噴涂方法制備鎢金屬旋轉(zhuǎn)濺射靶材，基管為316L不銹鋼管，噴涂用金屬鎢粉純度≥99.99%，中心D50粒度：250～300目，冷噴涂噴嘴進口處工作氣壓力為3.0Mpa，溫度500℃，噴咀喉頸直徑2.9mm，出口直徑9.0mm；噴涂距離35～55mm，工作氣加熱到850℃,增壓至3.5Mpa；采用N₂為工作氣，N₂流量為45～60米³/時；最后獲得靶材靶材厚度6毫米，靶材密度98%，純度≥99.95%，含氧量?500ppm。

5.如權(quán)利要求1所述的一種以冷噴涂方法制備的難熔金屬旋轉(zhuǎn)濺射靶材，其特征在于，采用冷噴涂方法制備鈦金屬旋轉(zhuǎn)濺射靶材，基管為316L不銹鋼管，噴涂用金屬鈦鎢粉純度≥99.8%，鈦粉中心D50粒度為300～450目，工作氣為N₂，?冷噴涂噴咀進口處工作氣壓力為2.8Mpa,溫度450℃，送粉速度為35～40克/分，工作氣加熱至500℃，增壓到3.2Mpa，N₂流量為35～45米³/時；最后獲得靶材厚度為9毫米，靶材密度98%，氧含量<500PPM。