[發(fā)明專利]一種CDS循環(huán)系統(tǒng)氣動(dòng)閥檢測(cè)方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310039484.6
• 申請(qǐng)日: 2013-01-31
• 公開（公告）號(hào): CN103969036A
• 公開（公告）日: 2014-08-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李文杰;馬嘉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
• 主分類號(hào): G01M13/00
• 分類號(hào): G01M13/00
• 代理公司: 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及閥門控制技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種CDS循環(huán)系統(tǒng)氣動(dòng)閥檢測(cè)方法。

背景技術(shù)

設(shè)備在正常工藝時(shí)，CDS循環(huán)系統(tǒng)內(nèi)的化學(xué)藥液在磁力泵高速運(yùn)轉(zhuǎn)下源源不斷的注入到工藝腔室，其前提條件是管路的暢通無(wú)阻和氣動(dòng)閥的正常動(dòng)作。然而氣動(dòng)閥屬于開環(huán)控制，給它一個(gè)信號(hào)讓其動(dòng)作，但無(wú)法返回實(shí)時(shí)的狀態(tài)來(lái)判定它是否已經(jīng)正常的完成命令。如果需要實(shí)時(shí)的監(jiān)控氣動(dòng)閥的狀態(tài)，通常的物理方法是在閥上增加一個(gè)行程開關(guān)，當(dāng)氣動(dòng)閥被控制打開或關(guān)閉時(shí)，閥上的行程柱會(huì)伸縮，行程開關(guān)檢測(cè)到這種動(dòng)作，能返回氣動(dòng)閥關(guān)閉或打開的信號(hào)，實(shí)現(xiàn)對(duì)氣動(dòng)閥的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。這種方法需要額外的硬件配置，占用安裝空間，增加控制信號(hào)的數(shù)量，讓控制方法變得復(fù)雜。

發(fā)明內(nèi)容

（一）要解決的技術(shù)問題

本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是：如何提供一種簡(jiǎn)便的對(duì)CDS循環(huán)系統(tǒng)中氣動(dòng)閥故障的檢測(cè)方法。

（二）技術(shù)方案

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種CDS循環(huán)系統(tǒng)氣動(dòng)閥檢測(cè)方法，其特征是，該方法包括以下步驟：

S1：通過PLC實(shí)時(shí)檢測(cè)第一壓力傳感器、第二壓力傳感器和泵的數(shù)值；

S2：當(dāng)?shù)谝粔毫鞲衅鞯臄?shù)值變化超出第一設(shè)定范圍、第二壓力傳感器的數(shù)值變化超出第二設(shè)定范圍或泵的轉(zhuǎn)速超出第三設(shè)定范圍時(shí)，對(duì)第一氣動(dòng)閥、第二氣動(dòng)閥、第三氣動(dòng)閥或第四氣動(dòng)閥的狀態(tài)進(jìn)行判斷；

S3：根據(jù)判斷的發(fā)出報(bào)警信號(hào)。

所述步驟S2具體為：

當(dāng)所述PLC檢測(cè)到所述第一壓力傳感器的壓力值低于第一設(shè)定范圍、第二壓力傳感器的壓力值低于第二設(shè)定范圍，且所述泵的轉(zhuǎn)速高于第三設(shè)定范圍時(shí)，則所述第一氣動(dòng)閥或第二氣動(dòng)閥故障；

當(dāng)所述PLC檢測(cè)到所述第一壓力傳感器的壓力值不變，第二壓力傳感器的壓力值低于第二設(shè)定范圍，所述泵的轉(zhuǎn)速高于第三設(shè)定范圍時(shí)，則所述第三氣動(dòng)閥故障；

當(dāng)所述PLC檢測(cè)到所述第一壓力傳感器的壓力值高于第一設(shè)定范圍、第二壓力傳感器的壓力值高于第二設(shè)定范圍，所述泵的轉(zhuǎn)速低于第三設(shè)定范圍時(shí)，則所述第四氣動(dòng)閥故障。

所述第一氣動(dòng)閥或第二氣動(dòng)閥故障的判斷條件為：若泵將藥液排除管路，則為第二氣動(dòng)閥故障；否則，為第一氣動(dòng)閥故障。

所述第一設(shè)定范圍是P_o～1.2P_o，其中，P_o是CDS循環(huán)系統(tǒng)設(shè)定的出口壓力值。

所述第二設(shè)定范圍是2P_o～2.4P_o。

所述第三設(shè)定范圍是V_t～1.2V_t，其中，V_t是CDS循環(huán)系統(tǒng)正常運(yùn)行時(shí)泵的實(shí)際速度。

（三）有益效果

本發(fā)明通過監(jiān)測(cè)第一壓力傳感器、第二壓力傳感器和泵的實(shí)時(shí)數(shù)值來(lái)判定氣動(dòng)閥是否正常動(dòng)作，可消除設(shè)備在工藝過程中氣動(dòng)閥監(jiān)測(cè)的盲點(diǎn)，增加設(shè)備的安全性和穩(wěn)定性。本發(fā)明不需額外增加硬件；PLC能實(shí)現(xiàn)自動(dòng)判定故障可能出現(xiàn)的位置，高效可靠。

附圖說(shuō)明

圖1是CDS循環(huán)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說(shuō)明本發(fā)明，但不用來(lái)限制本發(fā)明的范圍。

CDS循環(huán)系統(tǒng)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)為：順次連接的儲(chǔ)液池Tank、第一氣動(dòng)閥V₁、泵Pump、第二氣動(dòng)閥V₂、第一壓力傳感器PT₁、第三氣動(dòng)閥V₃、第二壓力傳感器PT₂和第四氣動(dòng)閥V₄，PLC分別與第一壓力傳感器PT₁、第二壓力傳感器PT₂和泵Pump連接。

為了簡(jiǎn)單方便的監(jiān)測(cè)氣動(dòng)閥是否處于正常狀態(tài)，保證設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行，可通過氣動(dòng)閥動(dòng)作時(shí)CDS管路中藥液壓力的變化情況來(lái)判定是否處于正常位置。

本發(fā)明方法包括以下步驟：

S1：通過PLC實(shí)時(shí)檢測(cè)第一壓力傳感器、第二壓力傳感器和泵的數(shù)值；