[發(fā)明專利]一種測量雙片波片補償器中光軸偏差角的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310039434.8
• 申請日: 2013-01-31
• 公開（公告）號: CN103968783A
• 公開（公告）日: 2014-08-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 崔高增;劉濤;李國光
• 申請（專利權(quán)）人: 北京智朗芯光科技有限公司;中國科學院微電子研究所
• 主分類號: G01B11/26
• 分類號: G01B11/26
• 代理公司: 北京華沛德權(quán)律師事務(wù)所 11302
• 代理人: 劉麗君

1.一種測量雙片波片補償器中光軸偏差角的方法，所述方法基于無樣品直通式旋轉(zhuǎn)波片橢偏光學系統(tǒng)，所述光學系統(tǒng)包括光源、起偏器、雙片波片補償器、檢偏器和探測單元，由所述光源發(fā)出的光依次通過所述起偏器、雙片波片補償器、檢偏器后被所述探測單元接收，其特征在于，包括以下步驟：

步驟1：旋轉(zhuǎn)所述雙片波片補償器，得到不同波長下的光譜強度；

步驟2：對所述探測單元接收到的各個波長下的光譜強度作傅里葉展開或擬合，得到不同波長下的實驗傅里葉系數(shù)α′₄,β₄；

步驟3：通過下式以及得到的所述的實驗傅里葉系數(shù)α′_4,β′₄的值，計算得到光軸偏差角Δ_c；

tan-1(β4′α4′)=2(A+P-2Cs)-2[1-sin(δ2+δ12)sin(δ2-δ12)]×Δc,]]>

其中，

α′₄,β′₄，每個波長下的傅里葉系數(shù)；

A，檢偏器角度；

P，起偏器角度；

C_s，雙片波片補償器的初始方位角；

Δ_c，光軸偏差角度；

δ₁，δ₂，雙片波片補償器中各波片相位延遲量。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述光學系統(tǒng)還包括計算和控制單元，所述計算和控制單元用于對所述雙片波片補償器進行控制并且用于對所述光譜儀接收到的數(shù)據(jù)進行計算。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述光源發(fā)出的光束包含至少4個波長，所述探測單元能探測所述4個波長的光信號。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述光源為寬帶光源，所述探測單元為光譜儀。