[發(fā)明專利]多連板檢測機臺

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310037621.2
• 申請日: 2013-01-30
• 公開（公告）號: CN103969521A
• 公開（公告）日: 2014-08-06
• 發(fā)明（設計）人: 邱毓英;李浩瑋;宋柏葦;吳國豪;邱信杰
• 申請（專利權）人: 全研科技有限公司
• 主分類號: G01R31/00
• 分類號: G01R31/00
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識產權代理有限責任公司 11139
• 代理人: 孫皓晨

1.一種多連板檢測機臺，包括：

一機座；

一位移檢測裝置，具有一位移軌道組及一檢測微調模塊，所述位移軌道組設置于所述機座上，所述檢測微調模塊具有一基座、多個微調機構，一檢測平臺、至少一取像單元及一檢測探針單元；所述基座設置于所述位移軌道組上，并能夠進行往復的滑移，所述的微調機構等間距地設置于所述基座上，并能夠進行X軸向及Y軸向的微調位移，所述檢測平臺設置于所述的微調機構上，以受所述的微調機構所帶動而進行X軸向及Y軸向的微調平移，所述取像單元設置于所述基座上，用以進行取像對位，所述檢測探針單元設置于所述檢測平臺上，具有多數(shù)能夠與外部電子元件進行接觸而探測其電性的探針，所述位移檢測裝置進行X軸向及Y軸向的位移，并進行取像對位、對位微調及接觸檢測；

多個Z軸調整裝置，設置于所述機座上，以進行Z軸向的往復位移者；

一受測平臺，設置于所述的Z軸調整裝置上，具有多個受測凹槽。

2.如權利要求1所述的多連板檢測機臺，其特征在于，所述位移檢測裝置的位移軌道組具有一設置于所述機座頂面上并沿X軸向設置的X軸軌道及一設置于所述X軸軌道上并沿Y軸向設置的Y軸軌道，且所述Y軸軌道并能夠沿所述X軸軌道進行X軸向的往復滑移，而所述檢測微調模塊設置于所述位移軌道組的Y軸軌道上，以沿所述Y軸軌道進行Y軸向的往復滑移。

3.如權利要求1所述的多連板檢測機臺，其特征在于，所述檢測微調模塊的各微調機構分別具有一驅動單元、一微調單元及一微調連結座，所述驅動單元為一微型馬達，設置于所述基座上，所述微調單元設置于所述基座上，并與所述驅動單元連結，以受所述驅動單元的帶動而能夠進行X軸向及Y軸向的微調位移，所述微調連結座設置于所述微調單元上，以受所述微調單元的帶動而位移，并由所述微調連結座供所述檢測平臺設置。

4.如權利要求1所述的多連板檢測機臺，其特征在于，所述各Z軸調整裝置分別具有一底座、一第一滑塊、一第二滑塊、一動力單元及一傳動單元；所述底座設置于所述機座的頂面上，所述底座具有一底板及一直立地連接于所述底板一側的立板，所述第一滑塊滑接于所述底座的底板上，并能夠沿所述底板進行往復的滑移，所述第一滑塊的頂面具有一第一斜面，所述第二滑塊滑接于所述底座的立板上，并能夠沿所述立板進行往復的滑移，所述第二滑塊的底面具有一第二斜面，且所述第二斜面與所述第一滑塊的第一斜面進行滑接，以受所述第一滑塊的滑移作用，而使所述第二滑塊得以進行Z軸的往復滑移，所述動力單元置于所述底座的底板上，用以產生一旋轉動力并加以輸出，所述傳動單元一端與所述動力單元連結，而傳動單元另一端則與所述第一滑塊連結，當傳動單元受所述動力單元的帶動而進行軸轉時，能夠帶動所述第一滑塊進行往復的滑移；所述受測平臺設置于所述第二滑塊上。

5.如權利要求4所述的多連板檢測機臺，其特征在于，所述Z軸調整裝置更具有一立柱，所述立柱設置于所述機座頂面上，以供所述底座設置于所述立柱上。

6.如權利要求1所述的多連板檢測機臺，其特征在于，所述受測平臺具有多個依預定間距呈橫縱向排列設置的受測凹槽，以供多個欲進行檢測的受測元件加以容置。