[發明專利]多晶硅生產尾氣的處理方法無效
| 申請號： | 201310037286.6 | 申請日： | 2013-01-30 |
| 公開（公告）號： | CN103073003A | 公開（公告）日： | 2013-05-01 |
| 發明（設計）人： | 張志剛;嚴大洲;毋克力;肖榮暉;湯傳斌;楊永亮;萬燁 | 申請（專利權）人： | 中國恩菲工程技術有限公司 |
| 主分類號： | C01B33/107 | 分類號： | C01B33/107;C01F11/28;C01B33/12 |
| 代理公司： | 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋合成;黃德海 |
| 地址： | 100038*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 多晶 生產 尾氣 處理 方法 | ||
1.一種多晶硅生產尾氣的處理方法，所述多晶硅生產尾氣包括：氮氣、氫氣、氯化氫和氣態的氯硅烷，所述氯硅烷包括：四氯化硅、三氯氫硅、二氯二氫硅，其特征在于，包括以下步驟：
a）將所述多晶硅生產尾氣進行加壓和冷卻處理，得到液態的氯硅烷和含有氮氣、氫氣、氯化氫以及未冷凝的氯硅烷的第一氣態產物；
b）將所述第一氣態產物通入具有預定濃度的吸收劑的水溶液中進行反應以吸收所述第一氣態產物中的氯化氫和氯硅烷，得到混合液以及含有氮氣和氫氣的第二氣態產物。
2.根據權利要求1所述的多晶硅生產尾氣的處理方法，其特征在于，所述步驟a）中壓力為0.3～0.9Mpa，冷卻溫度為-20～-45℃。
3.根據權利要求1所述的多晶硅生產尾氣的處理方法，其特征在于，還包括以下步驟：
c）將所述第二氣態產物放空。
4.根據權利要求1所述的多晶硅生產尾氣的處理方法，其特征在于，所述吸收劑為氫氧化鈣，所述混合液包括沉淀物和氯化鈣溶液。
5.根據權利要求4所述的多晶硅生產尾氣的處理方法，其特征在于，所述預定濃度為5～25wt%。
6.根據權利要求4所述的多晶硅生產尾氣的處理方法，其特征在于，進一步包括步驟：
d）將所述混合液進行壓濾以分離出所述沉淀物，并得到上清液。
7.根據權利要求6所述的多晶硅生產尾氣的處理方法，其特征在于，進一步包括步驟：
e）將所述上清液進行結晶處理，得到氯化鈣。
8.根據權利要求7所述的多晶硅生產尾氣的處理方法，其特征在于，所述結晶為蒸發結晶。
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