[發明專利]一種硬件測試系統

在審

• 申請號: 201310035920.2
• 申請日: 2013-01-30
• 公開（公告）號: CN103969520A
• 公開（公告）日: 2014-08-06
• 發明（設計）人: 沈景山;呂文波
• 申請（專利權）人: 深圳伊歐陸微電子系統有限公司
• 主分類號: G01R31/00
• 分類號: G01R31/00;G01R31/26
• 代理公司: 北京市百倫律師事務所 11433
• 代理人: 周紅力

技術領域

本發明總體上涉及半導體領域，更具體地，涉及對硬件參數進行測試的領域。

背景技術

硬件設備，例如半導體測試中硬件測試設備。半導體晶圓通常需要進行嚴格的測試。晶圓測試是對晶片上的每個晶粒進行針測，在檢測頭裝上以金線制成細如毛發的探針（probe），與晶粒上的接點（pad）接觸，通過硬件設備測試其電氣，光學，機械等物理化學特性，不合格的晶粒會被標上記號，而后當晶片依晶粒為單位切割成獨立的晶粒時，標有記號的不合格晶粒會被淘汰，不再進行下一個制程，以免徒增制造成本。

不同的硬件設備、晶圓通常具有不同的參數，例如，不同廠商生產出的相同類型的晶圓常常會表現出不同的性能，甚至同一廠商生產的同一批晶圓也可能存在差異。同樣，不同廠商生產出的相同類型的硬件測試設備，甚至同一廠商生產的同一系列硬件測試設備也存在著差異。

在傳統的晶圓測試中，通常需要針對不同的硬件測試設備。晶圓來開發出不同的測試系統，而由于硬件測試設備和晶圓的差異性非常巨大，所以開發出不同的測試系統將是一件非常耗時且容易出錯的工作，由此也將使得測試者的效率低下，并且費用昂貴，同時也制約了新型晶圓的開發和研究。

此外，即使不同硬件測試設備，晶圓存在著差異，但其也有著相同之處。對于這些相同之處，測試人員也需要再次對測試系統進行開發，從而導致了很多重復工作。

發明內容

本發明的目的至少在于克服現有技術中硬件設備測試的繁瑣、效率低下以及重復開發等問題。

根據本發明的一個方面，提供一種硬件測試系統，包括：測試信息接收器，配置用于接收待測硬件的信息；硬件協議庫，配置用于存儲待測硬件的協議；硬件適配器，配置用于與所述待測硬件連接并根據存儲在所述硬件協議庫中的協議與所述待測硬件進行通信；以及測試流控制器，配置用于根據所述待測硬件的信息，通過查詢所述硬件協議庫，來與連接到所述硬件適配器的待測硬件交換數據，從而對所述待測硬件進行測試，以得到測試結果。

根據本發明的一個實施方式，其中，所述待測硬件的信息包括待測硬件的輸入參數和測試流程信息，所述測試流程信息用于對所述待測硬件的輸入參數進行調度。

根據本發明的一個實施方式，進一步包括：轉換器，配置用于在所述待測硬件的信息與計算機可執行語言之間進行轉換；編譯器，配置用于將所述計算機可執行語言編譯為目標程序；以及其中，所述測試流控制器根據所述目標程序，通過查詢所述硬件協議庫，來對連接到所述硬件適配器的待測硬件進行測試

根據本發明的一個實施方式，其中，所述計算機可執行語言為i語言。

根據本發明的一個實施方式，其中對所述待測硬件進行測試通過如下方式來進行：將所述輸入參數寫入到所述待測硬件中；以及讀取所述待測硬件的測試結果。

根據本發明的一個實施方式，進一步包括：緩存器，配置用于存儲來自于所述硬件適配器中的測試結果；讀取器，配置用于讀取所述緩存器中的測試結果以供呈現。

根據本發明的一個實施方式，進一步包括數據訪問層接口，配置用于與所述讀取器連接并提供對來自所述讀取器的數據進行訪問和抽象的接口。

根據本發明的一個實施方式，進一步包括下列接口中的至少一個，配置用于與所述數據訪問層接口連接并呈現所述測試結果：顯示接口，配置用于通過顯示器來呈現所述測試結果；報告接口，配置用于通過報告的形式來呈現所述測試結果；輸出接口，配置用于直接將所述測試結果以數據的形式輸出；以及插件接口，配置用于以插件兼容的方式來呈現或處理所述測試結果。

根據本發明的一個實施方式，進一步包括路由器，其與所述硬件適配器相連接，配置用于根據待測硬件的信息對來自和/或去往所述硬件適配器的數據進行路由。

根據本發明的一個實施方式，其中進行路由包括通過多條通道對來自和/或去往所述硬件適配器的數據進行并行傳輸。

本發明所實現的有益效果至少在于簡化了硬件設備測試，提高了測試效率，并且降低了重復開發的概率。

附圖說明

圖1示出了根據本發明一個實施方式的硬件測試系統的示意性框圖；

圖2示出了根據本發明一個示例性實施方式的測試信息接收器110所呈現的輸入界面的示例；

圖3示出了根據本發明另一個實施方式的硬件測試系統的示意性框圖；

圖4示出了根據本發明又一個實施方式的硬件測試系統的示意性框圖；

圖5示出了根據本發明再一個實施方式的硬件測試系統的示意性框圖；以及