[發(fā)明專利]微機(jī)械加速度計(jì)小電容補(bǔ)償方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201310033427.7 | 申請(qǐng)日： | 2013-01-29 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN103969468B | 公開（公告）日： | 2019-03-15 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 江山 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 北京哲朗科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G01P15/125 | 分類號(hào)： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京知呱呱知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11577 | 代理人： | 李芙蓉;孫進(jìn)華 |
| 地址： | 100086 北京*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 微機(jī) 加速度計(jì) 電容 補(bǔ)償 電路 | ||
1.一種微機(jī)械加速度計(jì)小電容補(bǔ)償?shù)姆椒ǎ撐C(jī)械加速度計(jì)包括上極板、中間極板和下極板，中間極板連接前級(jí)放大器的負(fù)輸入端，第一補(bǔ)償電容的一端連接前級(jí)放大器的負(fù)輸入端，另一端通過開關(guān)分別連接上、下極板，第一反饋電容連接在前級(jí)放大器的負(fù)輸入端和輸出端之間，前級(jí)放大器的輸出端通過采樣電容連接第二級(jí)放大器的負(fù)輸入端，第二補(bǔ)償電容的一端連接第二級(jí)放大器的負(fù)輸入端，另一端通過開關(guān)分別連接上、下極板，第二反饋電容連接在第二級(jí)放大器的負(fù)輸入端和輸出端之間，其特征在于，該方法包括：第一步，利用前級(jí)放大器對(duì)加速度信號(hào)進(jìn)行前級(jí)放大，并利用所述第一補(bǔ)償電容部分補(bǔ)償上、下極板間的電容不匹配；第二步，由于前級(jí)放大器使得上、下極板間的電容不匹配也被放大，在第二級(jí)放大器使用較大的第二補(bǔ)償電容補(bǔ)償上、下極板間的電容不匹配。
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