[發(fā)明專利]一種鉬鈉合金旋轉(zhuǎn)濺射管形靶材的制備工藝

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310033234.1
• 申請日: 2013-01-29
• 公開（公告）號: CN103045925A
• 公開（公告）日: 2013-04-17
• 發(fā)明（設計）人: 趙文普;高建杰
• 申請（專利權(quán)）人: 洛陽高新四豐電子材料有限公司
• 主分類號: C22C27/04
• 分類號: C22C27/04;C22C1/04;B22F3/16;C23C14/14;C23C14/34
• 代理公司: 鄭州紅元帥專利代理事務所(普通合伙) 41117
• 代理人: 王瑞麗

1.一種鉬鈉合金旋轉(zhuǎn)濺射管形靶材的制備工藝，其特征在于：包括如下步驟：

1）備料：所用粉末為鉬粉、鉬酸鈉粉末；粉末的物理性質(zhì)為：鉬粉的Mo含量≥99.95%，粒度3~5μm；鉬酸鈉粉，鉬酸鈉含量≥99.0%，粒度20~40μmμm；

2）配粉：將鉬粉、鉬酸鈉粉按照比例稱取，鉬粉質(zhì)量百分含量為90~99%，鉬酸鈉粉為：1~10%；

3）機械合金化：合成納米鉬鈉合金粉末；

4）裝模：將上述得到的混合后的鉬鈉合金粉填充在橡膠模套內(nèi)，制備成空心的粉質(zhì)鉬鈉管坯；

5）冷等靜壓壓制：將空心的粉質(zhì)鉬鈉管坯放入冷等靜壓力機壓制成型；

6）燒結(jié)：將成型后的固體管坯放入中頻燒結(jié)爐內(nèi)，爐內(nèi)通入氫氣保護，采用水循環(huán)降溫；?

7）鍛造：將燒結(jié)后的鉬鈉合金成型坯加熱到800-1300℃，加熱時間為1-3h，取出后進行鍛打；

8）真空退火：將鍛打后的鉬鈉管靶放入真空退火爐內(nèi)，進行真空退火；具體的退火工藝為：加熱溫度：700-1300℃，保溫0.5-2h，然后緩慢冷卻至室溫；

9）機械加工，得到鉬鈉合金旋轉(zhuǎn)濺射管形靶材。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鉬鈉合金旋轉(zhuǎn)濺射管形靶材的制備工藝，其特征在于：所述步驟3中，機械合金化過程如下：

將鉬粉與鉬酸鈉粉按比例混合，在行星高能球磨機中球磨，球磨時在氬氣保護中進行，球料比為1:1，球磨時間為24h。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鉬鈉合金旋轉(zhuǎn)濺射管形靶材的制備工藝，其特征在于：所述步驟5中，冷等靜壓壓制過程如下：

a）將夾緊的橡膠模袋，放入冷等靜壓機的高壓工作容器內(nèi)；

b）開動壓力泵把液體介質(zhì)壓入高壓工作容器直至充滿并從放氣孔中冒出為止；

c）隨即開動增壓泵使壓力以5MPa/min的速度升至50-400Mpa?Mpa，然后保壓1-2分鐘，最后卸壓過程速度為8MPa/min；

d）壓力去除后，將橡膠套從高壓工作容器中取出，打開橡膠套，即可將壓制成型的固體管坯取出。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鉬鈉合金旋轉(zhuǎn)濺射管形靶材的制備工藝，其特征在于：所述燒結(jié)步驟6中，燒結(jié)過程如下：

a）室溫升溫至1200℃，用時4h；??

?b）?1200℃保溫1h；

?c）?1200℃升溫至1300℃，用時1h；

d）?1300℃升溫至1400℃，用時2h；??

e）?1400℃升溫至1650℃，用時2h；?

f）?1650℃保溫1h；

g）?1650℃升溫至1750℃，用時1h；?

h）?1750℃升溫至1850℃，用時1h；?

i）?1850℃升溫至1960℃，用時1h；?

^?j）?1960℃保溫7h；

?k）?停爐；

m）?冷卻9h；

?n）?出爐。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鉬鈉合金旋轉(zhuǎn)濺射管形靶材的制備工藝，其特征在于：所述燒結(jié)步驟7中，取出后以沖擊力為1000公斤的空氣錘進行錘鍛，鍛打20次。