[發明專利]用于半導體工藝中的烷氧基硅烷水解反應的催化劑和包含其的制劑

有效

• 申請號: 201310032372.8
• 申請日: 2013-01-17
• 公開（公告）號: CN103203250B
• 公開（公告）日: 2018-01-09
• 發明（設計）人: 蕭滿超;R·M·皮爾斯泰恩;R·霍;雷新建;S·G·瑪約加;D·P·斯潘斯
• 申請（專利權）人: 弗薩姆材料美國有限責任公司
• 主分類號: B01J31/02
• 分類號: B01J31/02;C23C16/40
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所11256
• 代理人: 吳亦華

1.制劑，其選自：

(1)制劑A，其包含：

(a)包括具有式Si(OR¹)_nR²_4-n的烷氧基烷基硅烷的含硅前體；和(b)包括具有式XSi(OR¹)_nR²_3-n的鹵代烷氧基烷基硅烷的催化劑；其中R¹選自C₁-C₁₂直鏈或支鏈烷基、C₃-C₁₂芳基、C₃-C₁₂環烷基、C₂-C₁₂鏈烯基和C₂-C₁₂炔基；R²選自C₁-C₁₂直鏈或支鏈烷基、C₃-C₁₂芳基、C₂-C₁₂鏈烯基、C₂-C₁₂炔基和氫原子；其中當R¹是甲基時，R²不是氫；n是1-4的整數；和X選自Cl、Br和I，其中所述含硅前體和催化劑化合物具有至少相同的R¹；

和

(2)制劑B，其包含

(a)包括具有式R²_3-p(R¹O)_pSi-R³-Si(OR¹)_pR²_3-p的化合物的含硅前體；和(b)包括具有式(R¹O)_mR²_2-m(X)Si-R³-Si(OR⁴)₂R⁵的鹵代烷氧基烷基硅烷的催化劑；其中R¹和R⁴各自獨立地選自C₁-C₁₂直鏈或支鏈烷基、C₃-C₁₂芳基、C₃-C₁₂環烷基、C₂-C₁₂鏈烯基和C₂-C₁₂炔基；R²選自C₁-C₁₂直鏈或支鏈烷基、C₃-C₁₂芳基、C₃-C₁₂環烷基、C₂-C₁₂鏈烯基、C₂-C₁₂炔基和氫原子；其中R¹和R²是相同或不同；R³選自C_1-10鏈烷二基、C_2-10鏈烯二基、C_2-10炔二基、C_3-10環烷二基、C_5-10環烯二基、C_6-10雙環烷二基、C_6-10環烯二基、C_6-10芳二基；和R⁵選自直鏈或支鏈的C₁-C₁₂烷基、C₄-C₁₂芳基、C₃-C₁₂環烷基、C₂-C₁₂鏈烯基、C₂-C₁₂炔基和直鏈或支鏈的C₁-C₁₂烷氧基；X選自F、Cl、Br和I；m是1-2的整數；和p是1-3的整數，其中所述含硅前體和催化劑化合物具有至少相同的R¹。