[發明專利]產生雙層等離子體光子晶體的裝置和方法有效
| 申請號: | 201310031529.5 | 申請日: | 2013-01-28 |
| 公開(公告)號: | CN103064133A | 公開(公告)日: | 2013-04-24 |
| 發明(設計)人: | 董麗芳;申中凱;李犇;張新普 | 申請(專利權)人: | 河北大學 |
| 主分類號: | G02B1/00 | 分類號: | G02B1/00;H05H1/24 |
| 代理公司: | 石家莊國域專利商標事務所有限公司 13112 | 代理人: | 胡澎 |
| 地址: | 071002 *** | 國省代碼: | 河北;13 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 產生 雙層 等離子體 光子 晶體 裝置 方法 | ||
1.一種產生雙層等離子體光子晶體的裝置,包括:真空反應室,設置在所述真空反應室內的兩個極板相對的水電極,以及與所述水電極電連接的等離子體發生電源,其特征是,在兩個所述水電極之間設置有作為放電氣隙邊界的兩個厚度不同的邊框,在兩個所述邊框之間設置有介質板;所述邊框和所述介質板分別與兩個所述水電極的軸心線相垂直。
2.根據權利要求1所述的產生雙層等離子體光子晶體的裝置,其特征是,兩個所述邊框為厚度在0.1~20mm之間的正方形玻璃框,所述介質板為厚度在0.1~5mm之間的石英介質板。
3.根據權利要求2所述的產生雙層等離子體光子晶體的裝置,其特征是,兩個所述邊框的厚度分別為2.4mm和1.2mm,所述石英介質板的厚度為1mm。
4.根據權利要求1所述的產生雙層等離子體光子晶體的裝置,其特征是,在所述真空反應室內注有放電氣體,所述放電氣體為氣壓可調的空氣,或者是空氣與氬氣按任意比例組成的混合氣體。
5.根據權利要求4所述的產生雙層等離子體光子晶體的裝置,其特征是,所述真空反應室內的放電氣體的氣壓為0.2~0.5Pa。
6.一種產生雙層等離子體光子晶體的方法,其特征是,包括以下步驟:
a、設置一個真空反應室,并在所述真空反應室內設置兩個極板相對的水電極,將所述水電極與等離子體發生電源電連接;
b、在兩個所述水電極之間設置作為放電氣隙邊界的兩個厚度不同的邊框,在所述邊框之間設置介質板,所述邊框和所述介質板分別與兩個所述水電極的軸心線相垂直;
c、閉合開關,等離子體發生電源作用于兩個所述水電極,即可在兩個所述水電極之間產生雙層等離子體光子晶體。
7.根據權利要求6所述的產生雙層等離子體光子晶體的裝置,其特征是,兩個所述邊框為厚度在0.1~20mm之間的正方形玻璃框,所述介質板為厚度在0.1~5mm之間的石英介質板。
8.根據權利要求7所述的產生雙層等離子體光子晶體的裝置,其特征是,兩個所述邊框的厚度分別為2.4mm和1.2mm,所述石英介質板的厚度為1mm。
9.根據權利要求6所述的產生雙層等離子體光子晶體的裝置,其特征是,在所述真空反應室內注有放電氣體,所述放電氣體為氣壓可調的空氣,或者是空氣與氬氣按任意比例組成的混合氣體。
10.根據權利要求9所述的產生雙層等離子體光子晶體的裝置,其特征是,所述真空反應室內的放電氣體的氣壓為0.2~0.5Pa。
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