[發(fā)明專利]低溫泵及低溫泵的修理方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310030074.5
• 申請日: 2013-01-25
• 公開（公告）號: CN103225594A
• 公開（公告）日: 2013-07-31
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 田中秀和
• 申請（專利權(quán)）人: 住友重機(jī)械工業(yè)株式會社
• 主分類號: F04B37/08
• 分類號: F04B37/08
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利代理有限公司 44202
• 代理人: 溫旭;郝傳鑫

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種低溫泵及低溫泵的修理方法。

背景技術(shù)

低溫泵為通過冷凝或吸附將氣體分子捕捉于冷卻成超低溫的低溫板上而進(jìn)行排氣的真空泵（例如，參考專利文獻(xiàn)1）。低溫泵為了實現(xiàn)半導(dǎo)體電路制造工藝等所要求的清潔的真空環(huán)境而被廣泛地利用。低溫泵為所謂的氣體捕集式真空泵，因此需要定期地向外部排出捕捉氣體的再生。

專利文獻(xiàn)1：國際公開第05/052369號小冊子

由于啟動半導(dǎo)體電路制造工藝花費(fèi)成本和時間，因此應(yīng)避免由裝置的不良狀態(tài)等引起的制造工藝的無法預(yù)測的停止。因此，為了實現(xiàn)制造工藝所要求的真空環(huán)境而使用多個低溫泵的情況較多。一個低溫泵發(fā)生故障而處于修理中的期間，由其他低溫泵來維持真空環(huán)境。這時若考慮其他低溫泵發(fā)生故障的可能性隨時間增大，則優(yōu)選盡早修復(fù)發(fā)生故障的低溫泵。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是鑒于這種情況而完成的，其目的在于提供一種能夠更輕松地進(jìn)行修理的低溫泵。

本發(fā)明的一種形態(tài)涉及低溫泵。該低溫泵具備：低溫泵的殼體；電氣安裝控制部，控制低溫泵；抽氣閥，設(shè)于外部的凈化用氣源與殼體內(nèi)部之間的流路上；粗抽閥，設(shè)于外部的泵與殼體內(nèi)部之間的流路上；通氣閥，設(shè)于殼體的內(nèi)部與外部之間的流路上；及壓力計，用于測定殼體內(nèi)部的壓力。電氣安裝控制部通過配線與抽氣閥、粗抽閥、通氣閥及壓力計中的至少一個部件連接，配線上設(shè)有部件側(cè)的連接器和電氣安裝控制部側(cè)的連接器，部件側(cè)的連接器構(gòu)成為能夠與電氣安裝控制部側(cè)的連接器進(jìn)行裝卸。

本發(fā)明的另一種形態(tài)為低溫泵。該低溫泵具備：控制低溫泵的電氣安裝控制部；及由配線與電氣安裝控制部連接的部件。配線上設(shè)有部件側(cè)的連接器和電氣安裝控制部側(cè)的連接器，部件側(cè)的連接器構(gòu)成為能夠與電氣安裝控制部側(cè)的連接器進(jìn)行裝卸，當(dāng)解除部件側(cè)的連接器和電氣安裝控制部側(cè)的連接器的結(jié)合時，能夠在部件側(cè)的連接器附帶于部件的狀態(tài)下拆卸部件。

本發(fā)明的另一其他形態(tài)為上述低溫泵的修理方法。該修理方法包括：診斷低溫泵的故障的步驟；當(dāng)發(fā)現(xiàn)部件的故障時，解除部件側(cè)的連接器與電氣安裝控制部側(cè)的連接器的結(jié)合的步驟；將附帶有部件側(cè)的連接器的部件從低溫泵拆卸的步驟；將與部件對應(yīng)的新的部件安裝于低溫泵的步驟；及連接新的部件側(cè)的連接器和電氣安裝控制部側(cè)的連接器的步驟。

另外，本發(fā)明提供一種低溫泵，其具備：控制低溫泵的電氣安裝控制部；及通過配線與所述電氣安裝控制部連接的部件，所述配線上設(shè)有所述部件側(cè)的連接器和所述電氣安裝控制部側(cè)的連接器，所述部件側(cè)的連接器構(gòu)成為能夠與所述電氣安裝控制部側(cè)的連接器進(jìn)行裝卸，當(dāng)解除所述部件側(cè)的連接器和所述電氣安裝控制部側(cè)的連接器的結(jié)合時，能夠在所述部件側(cè)的連接器附帶于所述部件的狀態(tài)下拆卸所述部件。

另外，將以上構(gòu)成要件的任意組合、或本發(fā)明的構(gòu)成要件或表現(xiàn)在裝置、方法、系統(tǒng)等之間相互置換的內(nèi)容也都作為本發(fā)明的形態(tài)而有效。

發(fā)明效果

根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種能夠更輕松地進(jìn)行修理的低溫泵。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的實施方式所涉及的低溫泵的主視圖。

圖2是本發(fā)明的實施方式所涉及的低溫泵的側(cè)視圖。

圖3是本發(fā)明的實施方式所涉及的低溫泵的后視圖。

圖4是表示從低溫泵拆下的狀態(tài)的抽氣閥的外觀圖。

圖5是表示從低溫泵拆下的狀態(tài)的粗抽閥的外觀圖。

圖6是表示抽氣閥發(fā)生故障時低溫泵的修理方法的一連串的步驟的流程圖。

圖中：100-低溫泵，102-殼體，104-抽氣閥，106-粗抽閥，108-通氣閥，110-皮拉尼壓力計，112-電氣安裝控制部，122-制冷機(jī)。

具體實施方式

以下，設(shè)為對各附圖中所示的相同或等同的構(gòu)成要件、部件、處理附加相同的符號，并適宜省略重復(fù)的說明。并且，各附圖中的部件的尺寸為了方便理解適當(dāng)擴(kuò)大、縮小而表示。并且，在說明實施方式的基礎(chǔ)上，在各附圖中對不重要的部件的一部分省略表示。

本實施方式所涉及的低溫泵中，通過將閥或壓力計等安裝在殼體上的電氣安裝部件模塊化，而使這些電氣安裝部件的裝卸更輕松。通過這種模塊化，尤其由于故障等導(dǎo)致的電氣安裝部件的更換變得更輕松。

圖1是本實施方式所涉及的低溫泵100的主視圖。圖2是低溫泵100的側(cè)視圖。圖3是低溫泵100的后視圖。圖2及圖3中省略配線的圖示。低溫泵100用于在真空環(huán)境中對物體進(jìn)行處理的真空處理裝置的真空腔室（未圖示）的真空排氣。真空處理裝置例如為離子注入裝置或濺射裝置等在半導(dǎo)體制造工序中使用的裝置。