[發明專利]立式線纜支撐裝置

有效

• 申請號: 201310030001.6
• 申請日: 2013-01-25
• 公開（公告）號: CN103969959A
• 公開（公告）日: 2014-08-06
• 發明（設計）人: 江旭初;朱鷙
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本發明涉及光刻裝置，特別涉及一種立式線纜支撐裝置。

背景技術

現有技術中的光刻裝置，主要用于集成電路IC或平板顯示領域以及其它微型器件的制造。通過光刻裝置，具有不同掩模圖案的多層掩模在精確對準下依次成像在涂覆有光刻膠的晶片上，例如半導體晶片或LCD板。光刻裝置大體上分為兩類，一類是步進光刻裝置，掩模圖案一次曝光成像在晶片的一個曝光區域，隨后晶片相對于掩模移動，將下一個曝光區域移動到掩模圖案和投影物鏡下方，再一次將掩模圖案曝光在晶片的另一曝光區域，重復這一過程直到晶片上所有曝光區域都擁有掩模圖案的像。另一類是步進掃描光刻裝置，與上述的步進光刻裝置不同，掩模圖案不是一次曝光成像，而是通過投影光場的掃描移動成像。在掩模圖案成像過程中，掩模與晶片同時相對于投影系統和投影光束移動。在上述的光刻設備中，需具有相應的裝置作為掩模版和硅片的載體，裝載有掩模版和裝載有硅片的載體產生精確的相互運動來滿足光刻需要。上述掩模版的載體被稱之為承版臺，硅片或基板的載體被稱之為承片臺。

在步進掃描光刻裝置中，工件臺的運行需要配備電機驅動系統、氣浮導向系統以及傳感器檢測系統，并需要大量的信號線、功率線、氣管和水管以對其供電、供氣、冷卻和控制。在工件臺運動的過程中，這些電纜和管路會跟隨工件臺作同步往復運動。當立式線纜已經影響工件臺的定位精度時，可通過采用主動立式線纜臺技術來補償管線設施對工件臺產生的拉力，消除或者大幅減小管線設施對工件臺運動的影響，即：通過降低立式線纜臺的質量降低立式線纜臺對工件臺粗動控制的附加力矩，從而降低控制難度。而對于其他方向的立式線纜，如果采用平躺方式將立式線纜與工件臺固定，則會增大工件臺的垂向空間需求，所以對于垂向空間要求嚴格的工件臺來說，需要將立式線纜采用側立飛式與工件臺進行連接。

請參照圖1，現有技術中存在一種常見立式線纜支撐裝置，該裝置包括線纜臺固定端101、線纜導向板102以及線纜臺運動端104，其中，所述線纜臺固定端101固定在立式線纜103的一端，線纜臺運動端104固定在所述立式線纜103的另一端，并與工件臺（圖中未示出）固定連接，跟隨工件臺做同步運動，線纜導向板102為線纜臺運動端104進行導向。但該裝置存在一個問題，該裝置中的立式線纜103僅能跟著工件臺做小行程運動，一旦工件臺的運動行程增大，立式線纜103由于缺乏垂向支撐，立式線纜在垂向的下垂會使得立式線纜103與下方零件存在接觸摩擦的可能，增大了立式線纜103磨損的風險。

發明內容

本發明提供一種立式線纜支撐裝置，以克服現有技術中立式線纜支撐裝置垂向支撐不足，立式線纜容易磨損的問題。

為解決上述技術問題，本發明提供一種立式線纜支撐裝置，包括：擺桿、滑塊以及搖桿，所述擺桿的一端與線纜固定端相連，所述擺桿的另一端與所述滑塊相連，所述搖桿分別與所述滑塊和線纜運動端相連。

作為優選，所述擺桿與線纜固定端之間通過一鉸鏈或軸承構成轉動副；所述搖桿和擺桿之間通過所述滑塊形成滑動副；所述搖桿與線纜運動端之間也通過鉸鏈或軸承形成轉動副。

作為優選，所述滑塊固定在所述擺桿上，所述擺桿通過所述滑塊在所述搖桿上滑動。

作為優選，所述滑塊固定在所述搖桿上，所述搖桿通過所述滑塊在所述擺桿上滑動。

作為優選，所述擺桿與所述線纜固定端固定連接；所述搖桿與所述線纜運動端之間通過鉸鏈或軸承連接，形成轉動副。

作為優選，所述擺桿與所述滑塊之間通過鉸鏈或軸承連接，形成轉動副；所述滑塊與所述搖桿之間形成滑動副。

作為優選，所述擺桿與所述滑塊形成滑動副，所述滑塊與所述搖桿之間通過鉸鏈或軸承連接，形成轉動副。

作為優選，所述擺桿與所述線纜固定端之間通過一鉸鏈或軸承構成轉動副；所述搖桿與線纜運動端固定連接。

作為優選，所述滑塊與所述擺桿之間形成滑動副；所述滑塊與所述搖桿之間通過鉸鏈或軸承連接，形成轉動副。

作為優選，所述擺桿與所述滑塊之間通過鉸鏈或軸承連接，形成轉動副；所述滑塊與所述搖桿之間形成滑動副。

與現有技術相比，本發明具有以下優點：本發明提供的立式線纜支撐裝置，包括：擺桿、滑塊以及搖桿，所述擺桿的一端與線纜固定端相連，所述擺桿的另一端與所述滑塊相連，所述搖桿分別與所述滑塊和線纜運動端相連。本發明通過擺桿、滑塊以及搖桿三個裝置，組成立式線纜支撐裝置，可以保證線纜與工件臺的跟隨運動，同時有效解決了立式線纜的垂向支撐問題，避免了立式線纜與底部零件之間的摩擦問題，提高了線纜的使用安全性。

附圖說明