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[發(fā)明專(zhuān)利]一種單晶硅片制絨添加劑、制絨液及對(duì)應(yīng)的制絨方法無(wú)效

專(zhuān)利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201310029560.5 申請(qǐng)日: 2013-01-23
公開(kāi)(公告)號(hào): CN103938276A 公開(kāi)(公告)日: 2014-07-23
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 何悅;何雙權(quán);李志剛 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: 尚德太陽(yáng)能電力有限公司;無(wú)錫尚德太陽(yáng)能電力有限公司
主分類(lèi)號(hào): C30B33/10 分類(lèi)號(hào): C30B33/10;C23F1/32
代理公司: 暫無(wú)信息 代理人: 暫無(wú)信息
地址: 201112 上海*** 國(guó)省代碼: 上海;31
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 單晶硅 片制絨 添加劑 制絨液 對(duì)應(yīng) 方法
【說(shuō)明書(shū)】:

技術(shù)領(lǐng)域

發(fā)明涉及太陽(yáng)電池制造領(lǐng)域,特別涉及一種單晶硅片制絨添加劑、制絨液及對(duì)應(yīng)的制絨方法。

背景技術(shù)

晶硅太陽(yáng)電池仍在光伏行業(yè)中居于主流地位,晶硅太陽(yáng)電池的制備過(guò)程包括以下步驟:(1)化學(xué)制絨及清洗;(2)擴(kuò)散制備PN結(jié);(3)刻蝕去邊以及清洗;(4)制備減反射膜;(5)絲網(wǎng)印刷電極并燒結(jié);(6)電池測(cè)試分揀。上述第一步中的化學(xué)制絨是在硅片表面上形成絨面并去除硅片切割時(shí)形成的損傷層,單晶硅片通常采用堿性腐蝕液在其表面形成減反效果較好的金字塔絨面,所述堿性腐蝕液主要包括堿(可為氫氧化鈉(NaOH)或者氫氧化鉀(KOH))、脫泡有機(jī)溶劑(可為異丙醇(IPA)或者乙醇,使用IPA效果更佳)、制絨添加劑(Additive)和去離子水等,其中堿的質(zhì)量百分比濃度為0.5-3%,脫泡有機(jī)溶劑的質(zhì)量百分比濃度為1%-5%,制絨添加劑的質(zhì)量百分比濃度為0.1-1%,制絨溫度通常控制在75-85℃。堿性腐蝕液利用較低堿濃度時(shí)單晶硅(111)晶向和(100)晶向不同的腐蝕速率(也稱(chēng)之為各向異性),制備出金字塔絨面,脫泡有機(jī)溶劑和制絨添加劑對(duì)單晶硅片的絨面質(zhì)量影響較大。

單晶硅片制絨過(guò)程中,主要的化學(xué)反應(yīng)如下:

Si+2NaOH(KOH)+H2OIPAAdditiveNa2SiO3+2H2]]>

NaOH(或者KOH)作為腐蝕劑,與硅發(fā)生反應(yīng),形成硅酸鈉鹽,并進(jìn)入溶液中;脫泡有機(jī)溶劑可以部分降低反應(yīng)過(guò)程中硅片和制絨液的界面張力,有利于消除反應(yīng)過(guò)程中在硅片表面形成的氣泡,從而使得硅片與堿的反應(yīng)更加均勻,形成外觀一致的金字塔結(jié)構(gòu);制絨添加劑的主要作用為促進(jìn)晶體硅(100)方向的腐蝕速率并降低(111)方向的腐蝕速率,提升單晶硅在低濃度堿液中的各向異性,此外,還可以改善硅片和溶液的界面張力,有利于硅片表面氣泡脫離。當(dāng)前制絨過(guò)程中使用硅酸鈉等添加劑,其改善硅片和溶液界面張力的能力比較較差,需要大量加入異丙醇來(lái)改善氣泡脫離能力,并且隨著反應(yīng)的進(jìn)行,溶液中生成的硅酸鈉濃度逐步升高,使得添加劑對(duì)(100)/(111)晶向的腐蝕速率控制減弱,從而使得在制絨液使用后期的金字塔尺寸變大,如圖1所示,制絨液使用后期的金字塔尺寸超過(guò)5um。如此大顆粒的金字塔絨面易造成后續(xù)工藝損傷絨面從而使制成的太陽(yáng)電池效率較低。

因此,如何提供一種單晶硅片制絨技術(shù)以減小金字塔絨面的尺寸,提高制絨工藝穩(wěn)定性、一致性和絨面密度,降低生產(chǎn)成本,已成為業(yè)界亟待解決的技術(shù)問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是要提供一種單晶硅片制絨添加劑、制絨液及制絨方法,通過(guò)所述添加劑、制絨液和制絨方法可減小金字塔絨面的尺寸,提高制絨工藝穩(wěn)定性、一致性和絨面密度,降低生產(chǎn)成本。

為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提供一種單晶硅片制絨添加劑,所述添加劑包括松油醇和聚乙二醇醚。

在一較佳實(shí)施例中,該添加劑還包括乳酸、乙酸鈉和堿,所述松油醇、聚乙二醇醚、乳酸、乙酸鈉、堿的質(zhì)量百分比濃度分別為0.1-3%、0.3-5%、0.01-5%、0.01-5%和0.1-2%。

在進(jìn)一步的較佳實(shí)施例中,所述堿為氫氧化鈉,所述松油醇、聚乙二醇醚、乳酸、乙酸鈉、氫氧化鈉的質(zhì)量百分比濃度分別為0.5%、0.3%、0.05%、0.1%和2.0%。

在進(jìn)一步的較佳實(shí)施例中,所述堿為氫氧化鈉,所述松油醇、聚乙二醇醚、乳酸、乙酸鈉、氫氧化鈉的質(zhì)量百分比濃度分別為1%、1%或2%、0.1%、0.1%和2.0%。

本發(fā)明還提供一種單晶硅片制絨液,其包括上述任一項(xiàng)所述的單晶硅片制絨添加劑和單晶硅片制絨原液,所述制絨原液包括堿、脫泡有機(jī)溶劑和去離子水

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