[發(fā)明專利]一種原位分析聚變裝置第一鏡表面雜質(zhì)的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310027896.8
• 申請日: 2013-01-25
• 公開（公告）號: CN103105376A
• 公開（公告）日: 2013-05-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 海然;張辰飛;信裕;丁洪斌
• 申請（專利權(quán)）人: 大連理工大學(xué)
• 主分類號: G01N21/35
• 分類號: G01N21/35
• 代理公司: 大連星海專利事務(wù)所 21208
• 代理人: 徐淑東

1.一種原位分析聚變裝置第一鏡表面雜質(zhì)的方法，具體包括以下步驟：

步驟100：測量并記錄原始第一鏡（5）的太赫茲時域波譜，以此作為參考太赫茲時域譜；

步驟200：經(jīng)過磁約束聚變裝置（3）運(yùn)行一段時間后，在第一鏡（5）表面沉積一層致密的雜質(zhì)灰塵，在與步驟100相同條件下測量載有雜質(zhì)灰塵的第一鏡表面反射太赫茲時域波譜；

步驟300：分析系統(tǒng)將測得的參考太赫茲時域譜和載有雜質(zhì)灰塵信息的太赫茲時域譜在有效頻域內(nèi)分別進(jìn)行傅里葉變換得到參考信號頻域譜F_mirror(ω)和載有雜質(zhì)灰塵信息的太赫茲頻域譜F_?dust（ω）；

步驟400：將載有雜質(zhì)灰塵信息的太赫茲頻域譜F_?dust（ω）除以參考信號頻域譜F_mirror(ω)，得到磁約束聚變裝置（3）運(yùn)行過后沉積在第一鏡表面灰塵雜質(zhì)層的相對反射率譜；

步驟500：分析系統(tǒng)通過分析相對反射率譜，提取出吸收峰的信息，并與計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)庫中所有物質(zhì)的太赫茲吸收峰相比較；由于太赫茲特征吸收峰往往對應(yīng)著某些極性分子的振動能級和轉(zhuǎn)動能級，分析系統(tǒng)將相對反射率譜的波形，吸收峰的位置信息，與計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)庫中已知材料的太赫茲特征吸收峰比對，當(dāng)被測材料的吸收峰與數(shù)據(jù)庫中某種物質(zhì)的特征吸收峰重合，就證明第一境表面雜質(zhì)灰塵中含有該物質(zhì)；結(jié)合峰值強(qiáng)度信息半定量給出物質(zhì)的含量；

步驟600：通過掃描的方式對第一鏡（5）表面沉積雜質(zhì)的成分進(jìn)行二維成像；完成高靈敏度、原位、無損、在線監(jiān)測磁約束聚變裝置第一鏡表面雜質(zhì)灰塵沉積過程的任務(wù)。