[發明專利]微電子機械微波頻率和功率檢測系統及其檢測方法

有效

• 申請號: 201310027731.0
• 申請日: 2013-01-18
• 公開（公告）號: CN103116071A
• 公開（公告）日: 2013-05-22
• 發明（設計）人: 廖小平;易真翔;吳昊
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: G01R23/02
• 分類號: G01R23/02;G01R21/00;B81B7/00
• 代理公司: 南京天翼專利代理有限責任公司 32112
• 代理人: 黃明哲

1.微電子機械微波頻率和功率檢測系統，其特征是所述微波檢測系統包括MEMS可重構天線、MEMS可調濾波器、控制電路和微波檢測器，MEMS可重構天線接收微波信號，經MEMS可調濾波器后，得到待測微波信號輸入微波檢測器，控制電路分別連接MEMS可重構天線和MEMS可調濾波器，

所述微波檢測器在GaAs襯底上設有待測信號傳輸線、四個結構完全相同的MEMS懸臂梁結構、一個功合器以及四個結構完全相同的MEMS間接式微波功率傳感器，待測信號傳輸線為CPW傳輸線，所述CPW傳輸線由信號線和地線構成，待測微波信號通過待測信號傳輸線輸入一個MEMS間接式微波功率傳感器，四個MEMS懸臂梁結構分為兩對，對稱懸于待測信號傳輸線的信號線上方，其中位于待測信號傳輸線的信號線同一側兩個MEMS懸臂梁結構分別連接一個MEMS間接式微波功率傳感器，另一側對稱的兩個MEMS懸臂梁結構分別連接至功合器，功合器的輸出端連接一個MEMS間接式微波功率傳感器。

2.根據權利要求1所述的微電子機械微波頻率和功率檢測系統，其特征是微波檢測器沿待測信號傳輸線方向，兩對MEMS懸臂梁結構之間的距離L為中心頻率點所對應波長的1/4，所述中心頻率點指所述微波頻率檢測器的頻率檢測范圍的中心頻率點。

3.根據權利要求1或2所述的微電子機械微波頻率和功率檢測系統，其特征是微波檢測器的MEMS懸臂梁結構與功合器以及MEMS間接式微波功率傳感器之間通過CPW傳輸線連接，功合器與MEMS間接式微波功率傳感器之間通過CPW傳輸線連接；懸臂梁結構包括懸臂梁和錨區，懸臂梁與下方的待測信號傳輸線的信號線之間設有絕緣介質層。

4.根據權利要求1或2所述的微電子機械微波頻率和功率檢測系統，其特征是微波檢測器的功合器包括不對稱共面帶線ACPS信號線、地線和隔離電阻，功合器的輸入端和輸出端之間為不對稱共面帶線ACPS信號線，隔離電阻設置在兩個輸入端之間。

5.根據權利要求3所述的微電子機械微波頻率和功率檢測系統，其特征是微波檢測器的功合器包括不對稱共面帶線ACPS信號線、地線和隔離電阻，功合器的輸入端和輸出端之間為不對稱共面帶線ACPS信號線，隔離電阻設置在兩個輸入端之間。