[發(fā)明專利]基于固支梁和直接式功率傳感器的微波檢測系統(tǒng)及其檢測方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310027303.8
• 申請日: 2013-01-18
• 公開（公告）號: CN103116070A
• 公開（公告）日: 2013-05-22
• 發(fā)明（設計）人: 廖小平;易真翔;吳昊
• 申請（專利權(quán)）人: 東南大學
• 主分類號: G01R23/02
• 分類號: G01R23/02;G01R21/02
• 代理公司: 南京天翼專利代理有限責任公司 32112
• 代理人: 黃明哲

1.基于固支梁和直接式功率傳感器的微波檢測系統(tǒng)，其特征是所述微波檢測系統(tǒng)包括MEMS可重構(gòu)天線、MEMS可調(diào)濾波器、控制電路和微波檢測器，MEMS可重構(gòu)天線接收微波信號，經(jīng)MEMS可調(diào)濾波器后，得到待測微波信號輸入微波檢測器，控制電路分別連接MEMS可重構(gòu)天線和MEMS可調(diào)濾波器。

所述微波檢測器在GaAs襯底上設有待測信號傳輸線、兩個結(jié)構(gòu)完全相同的MEMS固支梁結(jié)構(gòu)、一個功合器以及四個結(jié)構(gòu)完全相同的MEMS直接式微波功率傳感器，待測信號傳輸線為CPW傳輸線，所述CPW傳輸線由信號線和地線構(gòu)成，待測微波信號通過待測信號傳輸線輸入一個MEMS直接式微波功率傳感器，兩個MEMS固支梁結(jié)構(gòu)懸于待測信號傳輸線的信號線上方，兩個MEMS固支梁結(jié)構(gòu)的固支梁一端分別連接一個MEMS直接式微波功率傳感器，另一端分別連接至功合器，功合器的輸出端連接一個MEMS直接式微波功率傳感器。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于固支梁和直接式功率傳感器的微波檢測系統(tǒng)，其特征是微波檢測器的兩個MEMS固支梁結(jié)構(gòu)之間的距離L為中心頻率點所對應波長的1/4，所述中心頻率點指所述微波檢測器的頻率檢測范圍的中心頻率點。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基于固支梁和直接式功率傳感器的微波檢測系統(tǒng)，其特征是微波檢測器的MEMS固支梁結(jié)構(gòu)與功合器以及MEMS直接式微波功率傳感器之間通過CPW傳輸線連接，功合器與MEMS直接式微波功率傳感器之間通過CPW傳輸線連接；固支梁結(jié)構(gòu)包括固支梁和錨區(qū)，固支梁與下方的待測信號傳輸線的信號線之間設有絕緣介質(zhì)層。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基于固支梁和直接式功率傳感器的微波檢測系統(tǒng)，其特征是微波檢測器的功合器包括不對稱共面帶線ACPS信號線、地線和隔離電阻，功合器的輸入端和輸出端之間為不對稱共面帶線ACPS信號線，隔離電阻設置在兩個輸入端之間。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基于固支梁和直接式功率傳感器的微波檢測系統(tǒng)，其特征是微波檢測器的功合器包括不對稱共面帶線ACPS信號線、地線和隔離電阻，功合器的輸入端和輸出端之間為不對稱共面帶線ACPS信號線，隔離電阻設置在兩個輸入端之間。