[發(fā)明專利]振動片、振動器件、物理量檢測裝置以及電子設(shè)備

在審

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• 申請日: 2013-01-24
• 公開（公告）號: CN103226016A
• 公開（公告）日: 2013-07-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 大澤征司;菊島正幸;菊池尊行;山口啟一;磯野裕一
• 申請（專利權(quán)）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01C19/5607
• 分類號: G01C19/5607
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;黃綸偉

1.一種振動片，其特征在于，該振動片具有：

振動體；

支撐部，其與從所述振動體延伸出的梁連接，支撐所述振動體；以及

至少兩個固定部，它們設(shè)置于所述支撐部，沿著與所述梁的延伸方向交叉的方向分離且并列地設(shè)置，

所述梁與所述支撐部在所述兩個固定部之間相連，

在所述兩個固定部之間設(shè)有薄部或者貫通部，所述薄部形成為，該薄部在所述支撐部的正反方向上的厚度比所述支撐部的設(shè)置所述固定部的部分薄，所述貫通部是在正反方向上貫通地去除所述支撐部而形成的。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動片，其特征在于，

所述支撐部具有從所述梁分別延伸到所述兩個固定部的寬度狹窄部，所述支撐部的所述寬度狹窄部處的寬度比所述支撐部的設(shè)置所述固定部的部分的寬度窄。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的振動片，其特征在于，

所述薄部或所述貫通部的靠所述振動體側(cè)的端部在所述支撐部的側(cè)面開放。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任意一項(xiàng)所述的振動片，其特征在于，

所述振動體具有：基部；從基部起朝向兩側(cè)沿著第一方向延伸的第一檢測振動臂以及第二檢測振動臂；從所述基部起朝向兩側(cè)沿著與所述第一方向垂直的第二方向延伸的第一連接臂和第二連接臂；從所述第一連接臂起朝向兩側(cè)沿著所述第一方向延伸的第一驅(qū)動振動臂和第二驅(qū)動振動臂；從所述第二連接臂朝向兩側(cè)沿著所述第一方向延伸的第三驅(qū)動振動臂和第四驅(qū)動振動臂，由所述第一檢測振動臂以及所述第二檢測振動臂構(gòu)成檢測振動系統(tǒng)，由所述第一驅(qū)動振動臂、所述第二驅(qū)動振動臂、所述第三驅(qū)動振動臂以及所述第四驅(qū)動振動臂構(gòu)成驅(qū)動振動系統(tǒng)，

所述支撐部具有隔著所述振動體沿著所述第一方向相對配置，并且在所述第二方向上延伸的第一支撐部以及第二支撐部，

所述梁具有：經(jīng)過所述第一檢測振動臂和所述第一驅(qū)動振動臂之間，連接所述第一支撐部和所述基部的第一梁；經(jīng)過所述第一檢測振動臂和所述第三驅(qū)動振動臂之間，連接所述第一支撐部和所述基部的第二梁；經(jīng)過所述第二檢測振動臂和所述第二驅(qū)動振動臂之間，連接所述第二支撐部和所述基部的第三梁；以及經(jīng)過所述第二檢測振動臂和所述第四驅(qū)動振動臂之間，連接所述第二支撐部和所述基部的第四梁。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的振動片，其特征在于，

該振動片具有：連接所述第一梁和所述第二梁的第一連接梁、以及連接所述第三梁和所述第四梁的第二連接梁，

利用所述第一連接梁以及所述第二連接梁將所述振動體分別連接到相對配置的所述第一支撐部以及所述第二支撐部。

6.一種振動器件，其特征在于，該振動器件具備：

具有至少兩個連接焊盤的基板；以及

權(quán)利要求1至5中任意一項(xiàng)中所述的振動片，

通過導(dǎo)電性固定部件將所述連接焊盤和所述固定部接合。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的振動器件，其特征在于，

在所述基板的俯視中，所述連接焊盤的輪廓的一部分與設(shè)置所述薄部或所述貫通部的區(qū)域的一部分重合。

8.一種物理量檢測裝置，其特征在于，該物理量檢測裝置具有：

權(quán)利要求4或權(quán)利要求5所述的振動片；

驅(qū)動所述振動片的驅(qū)動電路；以及

根據(jù)來自所述振動片的檢測信號檢測預(yù)定物理量的檢測電路。

9.一種電子設(shè)備，其特征在于，該電子設(shè)備具有權(quán)利要求1至5中任意一項(xiàng)所述的振動片。