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[發(fā)明專利]半導(dǎo)體器件無效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201310027193.5 申請日: 2013-01-24
公開(公告)號(hào): CN103681821A 公開(公告)日: 2014-03-26
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 內(nèi)城竜生 申請(專利權(quán))人: 株式會(huì)社東芝
主分類號(hào): H01L29/739 分類號(hào): H01L29/739;H01L29/06;H01L29/78
代理公司: 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所 11038 代理人: 張麗
地址: 日本*** 國省代碼: 日本;JP
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 半導(dǎo)體器件
【權(quán)利要求書】:

1.一種半導(dǎo)體器件,其特征在于,具備:

第1導(dǎo)電類型的第1半導(dǎo)體層;

第2導(dǎo)電類型的第2半導(dǎo)體層,設(shè)置于所述第1半導(dǎo)體層之上;

第3半導(dǎo)體層,設(shè)置于所述第2半導(dǎo)體層之上,并且具有第1導(dǎo)電類型的第1半導(dǎo)體區(qū)域和第2導(dǎo)電類型的第2半導(dǎo)體區(qū)域沿著相對所述第1半導(dǎo)體層與所述第2半導(dǎo)體層的層疊方向垂直的第1方向交替排列的構(gòu)造;

第4半導(dǎo)體層,設(shè)置于所述第3半導(dǎo)體層之上,并且具有第1導(dǎo)電類型的第3半導(dǎo)體區(qū)域和第2導(dǎo)電類型的第4半導(dǎo)體區(qū)域沿著所述第1方向交替排列的構(gòu)造;

第1導(dǎo)電類型的第5半導(dǎo)體層,設(shè)置于所述第4半導(dǎo)體層之上;

第2導(dǎo)電類型的第6半導(dǎo)體層,設(shè)置于所述第5半導(dǎo)體層之上;

第1電極,隔著絕緣膜而與所述第6半導(dǎo)體層、所述第5半導(dǎo)體層以及所述第4半導(dǎo)體區(qū)域相接;

第2電極,與所述第6半導(dǎo)體層連接;以及

第3電極,與所述第1半導(dǎo)體層連接,

所述第1半導(dǎo)體區(qū)域與所述第3半導(dǎo)體區(qū)域連接,所述第2半導(dǎo)體區(qū)域與所述第4半導(dǎo)體區(qū)域連接,

所述第2半導(dǎo)體區(qū)域中包含的雜質(zhì)元素的濃度高于所述第1半導(dǎo)體區(qū)域中包含的雜質(zhì)元素的濃度,

所述第3半導(dǎo)體區(qū)域中包含的雜質(zhì)元素的濃度高于所述第4半導(dǎo)體區(qū)域中包含的雜質(zhì)元素的濃度,

所述第2半導(dǎo)體層的上端與所述第3半導(dǎo)體層和所述第4半導(dǎo)體層的界面之間的第1長度比所述界面與所述第5半導(dǎo)體層的下端之間的第2長度短。

2.一種半導(dǎo)體器件,其特征在于,具備:

第1導(dǎo)電類型的第1半導(dǎo)體層;

第2導(dǎo)電類型的第2半導(dǎo)體層,設(shè)置于所述第1半導(dǎo)體層之上;

第3半導(dǎo)體層,設(shè)置于所述第2半導(dǎo)體層之上,并且具有第1導(dǎo)電類型的第1半導(dǎo)體區(qū)域和第2導(dǎo)電類型的第2半導(dǎo)體區(qū)域沿著相對所述第1半導(dǎo)體層與所述第2半導(dǎo)體層的層疊方向垂直的第1方向交替排列的構(gòu)造;

第4半導(dǎo)體層,設(shè)置于所述第3半導(dǎo)體層之上,并且具有第1導(dǎo)電類型的第3半導(dǎo)體區(qū)域和第2導(dǎo)電類型的第4半導(dǎo)體區(qū)域沿著所述第1方向交替排列的構(gòu)造;

第1導(dǎo)電類型的第5半導(dǎo)體層,設(shè)置于所述第4半導(dǎo)體層之上;

第2導(dǎo)電類型的第6半導(dǎo)體層,設(shè)置于所述第5半導(dǎo)體層之上;

第1電極,隔著絕緣膜而與所述第6半導(dǎo)體層、所述第5半導(dǎo)體層以及所述第4半導(dǎo)體區(qū)域相接;

第2電極,與所述第6半導(dǎo)體層連接;以及

第3電極,與所述第1半導(dǎo)體層連接,

所述第2半導(dǎo)體區(qū)域中包含的雜質(zhì)元素的濃度高于所述第1半導(dǎo)體區(qū)域中包含的雜質(zhì)元素的濃度,

所述第3半導(dǎo)體區(qū)域中包含的雜質(zhì)元素的濃度高于所述第4半導(dǎo)體區(qū)域中包含的雜質(zhì)元素的濃度,

所述第2半導(dǎo)體層的上端與所述第3半導(dǎo)體層和所述第4半導(dǎo)體層的界面之間的第1長度比所述界面與所述第5半導(dǎo)體層的下端之間的第2長度短。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,

所述第1半導(dǎo)體區(qū)域與所述第3半導(dǎo)體區(qū)域連接,所述第2半導(dǎo)體區(qū)域與所述第4半導(dǎo)體區(qū)域連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1~3中的任意一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,

所述第1半導(dǎo)體區(qū)域以及所述第2半導(dǎo)體區(qū)域與所述第2半導(dǎo)體層相接。

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說明:

1、專利原文基于中國國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計(jì)專利(升級中);

3、專利數(shù)據(jù)每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

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