[發明專利]一種藍寶石長晶的恒溫節能冷卻水系統無效
| 申請號: | 201310026266.9 | 申請日: | 2013-01-24 |
| 公開(公告)號: | CN103060912A | 公開(公告)日: | 2013-04-24 |
| 發明(設計)人: | 徐秋峰;段金柱;馬勁松;蔡建華;段斌斌;王勤峰;樊志遠 | 申請(專利權)人: | 天通控股股份有限公司 |
| 主分類號: | C30B29/20 | 分類號: | C30B29/20;C30B35/00 |
| 代理公司: | 浙江杭州金通專利事務所有限公司 33100 | 代理人: | 吳關炳 |
| 地址: | 314412 浙江*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 藍寶石 恒溫 節能 冷卻水 系統 | ||
技術領域
本發明屬于工業冷卻水技術領域,特別是涉及一種藍寶石長晶的恒溫節能冷卻水系統。
背景技術
藍寶石晶體材料市場前景十分廣闊。不僅能應用于LED產業,還可以作為微電子、光電子器件的外延基片,傳感器(溫度、壓力)敏感元件的襯底,可以做成不同尺寸和型面的單模、雙模、多模光電窗口和整流罩,應用于軍工領域,可以作為各種耐壓、耐磨件、軸承、密封件等用于各種精密裝備中,還可應用于高端手表表面、手機屏幕及便攜式電子設備屏幕等。隨著藍寶石長晶設備和技術不斷的發展,對冷卻水系統的要求也越來越高,在保證整個系統的安全性的情況下,更加需要對進入藍寶石長晶設備的冷卻水的溫度波動幅度進行控制。目前的冷卻水系統均需采用冷凍機,才能控制水溫的波動幅度,電能消耗極大。
發明內容
本發明針對上述現有技術的不足,提出了一種藍寶石長晶的恒溫節能冷卻水系統,能不間斷地為藍寶石長晶爐提供循環冷卻水,并且能將進入設備的水溫波動控制在30±1℃,滿足高品質藍寶石生長對循環冷卻水系統的特殊要求,運行過程中大幅降低能耗。
本發明專利解決技術問題所采取的技術方案是:一種藍寶石長晶的恒溫節能冷卻水系統,其包括供水箱、供水泵、藍寶石長晶爐、控電柜、回水箱、回水泵、冷卻塔和發電機;從供水箱始通過管道連接經供水泵至藍寶石長晶爐,再到回水箱并經回水泵至冷卻塔,然后回到供水箱構成回路,形成循環系統;所述回路上設有溫度傳感器和流量傳感器;所述控電柜與發電機、供水泵、回水泵和冷卻塔以及溫度傳感器和流量傳感器電纜線連接;在控電柜的控制下,能為藍寶石長晶爐提供溫度穩定的冷卻水。
作為一種優選,所述的冷卻塔為并聯運行的兩個封閉式冷卻塔,以保證系統的安全性。
作為一種優選,每個冷卻塔的風扇和噴淋泵都帶有變頻器,并且都設為常開;所述風扇采取定頻控制,所述噴淋泵采取變頻控制,以實現對溫度的控制,有效降低溫度的波動幅度。
作為一種改進,在冷卻塔進出水總管之間通過管道連接構成旁路,所述旁路上設有電動二通閥及流量傳感器;當環境溫度過低時,通過旁路上的電動二通閥進行調節,使冷卻水溫度穩定。
本發明在控電柜控制下運行,當溫度超過設定溫度時,冷卻塔噴淋泵會自動進行變頻,旁路上的電動二通閥會自動開啟,使進入藍寶石長晶爐的冷卻水的溫度控制在30±1℃。當斷電時,發電機會自動啟動。
本發明應用于藍寶石長晶過程,能不間斷地為藍寶石長晶爐提供循環冷卻水,水溫波動控制在30±1℃,滿足高品質藍寶石生長對循環冷卻水系統的特殊要求,運行過程中大幅降低能耗。
附圖說明
圖1為本發明專利的一種實施方式示意圖。其中供水箱1,供水泵2,溫度傳感器3,流量傳感器4,藍寶石長晶爐5,控電柜6,回水箱7,回水泵8,封閉式冷卻塔9,電動二通閥10,旁路11、發電機12。
具體實施方式
圖1所示為一種藍寶石長晶的恒溫節能冷卻水系統,它包括供水箱1,供水泵2,溫度傳感器3,流量傳感器4,藍寶石長晶爐5,控電柜6,回水箱7,回水泵8,封閉式冷卻塔9,電動二通閥10,旁路11、發電機12。其中實線表示管道連接,虛線表示電纜線連接。
當系統正常運行時,供水箱1的水通過供水泵2進入藍寶石設備5,在供水管道上有溫度傳感器3和流量傳感器4,通過電控柜6進行控制。經過藍寶石長晶爐5的水流入回水箱7,通過回水泵8進入封閉式冷卻塔9或者旁通11,再經回水管道返回至供水箱1。
冷卻塔9的風扇為常開,為了節能,春天和秋天兩個冷卻塔9的風扇頻率設定在40HZ;夏天設定在50HZ;冬天設定在30HZ;噴淋泵也為常開,變頻范圍為30~50HZ。
通過PLC程序控制,當冷卻塔出水處的溫度傳感器3檢測到水溫超過30℃時,兩個噴淋泵的頻率上升;當檢測到水溫低于30℃時,兩個噴淋泵的頻率下降;當檢測到溫度低于29.5℃時,位于旁路11上的電動二通閥10打開,而當溫度回升到30℃時,位于旁路11上的電動二通閥10關閉。
當停電時,發電機12自動啟動,并使供水泵2重新啟動。
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