[發(fā)明專利]一種激光干涉儀光程差定位方法及系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310025499.7
• 申請(qǐng)日: 2013-01-22
• 公開（公告）號(hào): CN103076090A
• 公開（公告）日: 2013-05-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李劍平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 李劍平
• 主分類號(hào): G01J3/02
• 分類號(hào): G01J3/02;G01J3/06
• 代理公司: 濟(jì)南舜源專利事務(wù)所有限公司 37205
• 代理人: 閆曉燕

1.一種激光干涉儀光程差定位方法，其特征是，來(lái)自激光器的準(zhǔn)直光束射向立方體分束器，被立方體分束器反射的反射光射向定鏡，經(jīng)過(guò)定鏡垂直反射后回到所述立方體分束器；所述準(zhǔn)直光束透過(guò)立方體分束器的部分光束射向運(yùn)動(dòng)的大角錐回射器后被回射向固定不動(dòng)的小角錐回射器；被小角錐回射器回射后再次射向運(yùn)動(dòng)大角錐回射器；然后再次被大角錐回射器回射向固定平面反射鏡；最后被固定不動(dòng)的平面反射鏡反射沿入射光路原路返回；所述被平面反射鏡反射沿入射光路原路返回的透射光束和被定鏡垂直反射的反射光束在所述立方體分束器會(huì)合并發(fā)生干涉，干涉光信號(hào)通過(guò)光電二極管探測(cè)并完成光電轉(zhuǎn)換；其中，所述大角錐回射器沿入射光平行方向做直線往復(fù)掃描運(yùn)動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光干涉儀光程差定位方法，其特征是，從垂直于所述大角錐回射器口徑面上看進(jìn)去，圓形口徑被對(duì)稱分成了大小相等的六個(gè)扇形區(qū)域，旋轉(zhuǎn)調(diào)整角錐回射器，使得入射光、出射光均處于所述六個(gè)扇形區(qū)域中的對(duì)稱的一對(duì)扇形區(qū)域內(nèi)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的激光干涉儀光程差定位方法，其特征是，所述小角錐回射器和/或大角錐回射器為實(shí)心玻璃角錐回射器，所述實(shí)心玻璃角錐回射器的正入射面加鍍?cè)鐾改ぁ?/p>

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光干涉儀光程差定位方法，其特征是，所述小角錐回射器和大角錐回射器的正入射面與光軸垂直面之間的夾角θ₁、θ₂為1-2度。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的激光干涉儀光程差定位方法，其特征是，所述大角錐回射器和小角錐回射器為空心角錐回射器。

6.一種實(shí)現(xiàn)權(quán)利要求1或2或3或4所述方法的激光干涉儀光程差定位系統(tǒng)，其特征是，包括一個(gè)激光器、一個(gè)立方體分束器、一個(gè)作為定鏡的平面反射鏡、一個(gè)小角錐回射器、一個(gè)大角錐回射器、一個(gè)平面反射鏡、一個(gè)直線平移臺(tái)和一個(gè)光電二極管；所述立方體分束器位于所述激光器的出射光路上，所述作為定鏡的平面反射鏡位于所述立方體分束器反射光路上，所述小角錐回射器位于所述立方體分束器的透射光路上且錐角朝向所述立體分束器，所述大角錐回射器位于所述小角錐回射器的透射光路上且錐角背向所述立體分束器，所述大角錐回射器的直線往復(fù)掃描運(yùn)動(dòng)由其所處的直線平移臺(tái)驅(qū)動(dòng)，所述平面反射鏡的反射面垂直所述大角錐回射器的回射光路，所述光電二極管位于所述立方體分束器出射光路上。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的激光干涉儀光程差定位系統(tǒng)，其特征是，從垂直于所述大角錐回射器口徑面上看進(jìn)去，圓形口徑被對(duì)稱分成了大小相等的六個(gè)扇形區(qū)域，旋轉(zhuǎn)調(diào)整角錐回射器，使得入射光、出射光均處于所述六個(gè)扇形區(qū)域中的對(duì)稱的一對(duì)扇形區(qū)域內(nèi)。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的激光干涉儀光程差定位方法，其特征是，所述小角錐回射器和/或大角錐回射器為實(shí)心玻璃角錐回射器，所述實(shí)心玻璃角錐回射器的的正入射面加鍍?cè)鐾改ぁ?/p>

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的激光干涉儀光程差定位方法，其特征是，所述小角錐回射器和大角錐回射器的正入射面與光軸垂直面之間的夾角θ₁、θ₂為1-2度。

10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的激光干涉儀光程差定位方法，其特征是，所述大角錐回射器和小角錐回射器為空心角錐回射器。