[發(fā)明專利]CoFe合金的電沉積方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310025412.6
• 申請(qǐng)日: 2013-01-22
• 公開（公告）號(hào): CN103290441A
• 公開（公告）日: 2013-09-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: J·龔;I·塔巴科維克;S·瑞莫;M·C·考茨基
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 希捷科技有限公司
• 主分類號(hào): C25D3/56
• 分類號(hào): C25D3/56;C25D5/18
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 張東梅

1.一種在襯底上沉積磁性材料的方法，所述方法包括：

將襯底置于電鍍液中，所述電鍍液包括：

選自下組的添加劑：

丙二酸衍生物；

β-二酮和β-二酮的衍生物；以及

C₆C₃化合物和C₆C₃化合物衍生物；以及

通過使連接到襯底的電流脈沖導(dǎo)通和斷開來在襯底上電化學(xué)沉積磁性材料。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述添加劑是選自下組的丙二酸衍生物：2-烯丙基丙二酸、2-甲基丙二酸、2-苯基丙二酸、2,2-二甲基丙二酸、及其組合。

3.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述添加劑是選自下組的β-二酮或β-二酮的衍生物：1,3-茚二酮、戊二酮、2-苯基1,3-茚二酮、2-吡啶亞基-1,3-茚二酮、3-吡啶亞基-1,3-茚二酮、4-吡啶亞基-1,3-茚二酮、2-亞呋喃基-1,3-茚二酮、3-甲基戊二酮、及其組合。

4.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述添加劑是選自下組的C₆C₃化合物或C₆C₃化合物衍生物：7-羥基香豆素、4-羥基香豆素、4,7-二羥基香豆素、松柏醇、及其組合。

5.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述添加劑具有在電解質(zhì)溶液中不高于約0.001M的濃度。

6.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述電解質(zhì)溶液不包含糖精。

7.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所沉積的磁性材料是CoFe。

8.如權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，所述CoFe具有至少約為2.3T的磁飽和。

9.如權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，所述CoFe具有在pH5.9的0.1MNaCl溶液中通過動(dòng)電勢(shì)曲線獲得的相對(duì)于SCE的至少約-400mV的腐蝕電勢(shì)。

10.如權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，所述CoFe具有不大于約500Mpa的膜應(yīng)力。

11.如權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，所述CoFe的O、S、C、N、H和Cl的總濃度比存在糖精的情況下電沉積的CoFe低約3倍。

12.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在每個(gè)導(dǎo)通脈沖之間所述電流斷開至少約400毫秒。

13.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在每個(gè)斷開脈沖之間所述電流導(dǎo)通至少約200毫秒。

14.一種在襯底上沉積磁性材料的方法，所述方法包括：

將襯底置于電鍍液中，其中所述電鍍液不包含糖精；

通過脈沖調(diào)制連接到襯底的電流來在襯底上電化學(xué)沉積磁性材料，其中電流具有導(dǎo)通脈沖周期和斷開脈沖周期，且其中斷開脈沖周期至少約為400毫秒。

15.如權(quán)利要求14所述的方法，其特征在于，所述添加劑是選自下組的丙二酸衍生物：2-烯丙基丙二酸、2-甲基丙二酸、2-苯基丙二酸、2,2-二甲基丙二酸、及其組合。

16.如權(quán)利要求14所述的方法，其特征在于，所述添加劑是選自下組的β-二酮或β-二酮的衍生物：1,3-茚二酮、戊二酮、2-苯基1,3-茚二酮、2-吡啶亞基-1,3-茚二酮、3-吡啶亞基-1,3-茚二酮、4-吡啶亞基-1,3-茚二酮、2-亞呋喃基-1,3-茚二酮、3-甲基戊二酮、及其組合。

17.如權(quán)利要求14所述的方法，其特征在于，所述添加劑是選自下組的C₆C₃化合物或C₆C₃化合物衍生物：7-羥基香豆素、4-羥基香豆素、4,7-羥基香豆素、松柏醇、及其組合。

18.如權(quán)利要求14所述的方法，其特征在于，所述添加劑具有在電解質(zhì)溶液中不高于約0.001M的濃度。

19.如權(quán)利要求14所述的方法，其特征在于，所沉積的磁性材料是CoFe。

20.一種在襯底上沉積磁性材料的方法，所述方法包括：

將襯底置于電鍍液中，所述電鍍液包括：

不高于約0.001M的添加劑，其中所述添加劑選自下組：

丙二酸衍生物；

β-二酮和β-二酮的衍生物；以及

C₆C₃化合物和C₆C₃化合物衍生物；

通過脈沖調(diào)制連接到襯底的電流來在襯底上電解地沉積磁性材料，其中電流具有導(dǎo)通脈沖周期和斷開脈沖周期，且其中斷開脈沖周期至少約為400毫秒。