[發(fā)明專(zhuān)利]發(fā)光特性測(cè)定裝置以及方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310024897.7
• 申請(qǐng)日: 2013-01-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103267628A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-08-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 伊藤昭成;柳澤幸樹(shù);松本憲典;佐藤哲也;石川真治;內(nèi)田練
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 橫河電機(jī)株式會(huì)社;夏普株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): G01M11/02
• 分類(lèi)號(hào): G01M11/02
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 何立波;張?zhí)焓?/td>

1.一種發(fā)光特性測(cè)定裝置，其測(cè)定發(fā)光元件的發(fā)光特性，其特征在于，具有：

光學(xué)積分器，其具有能夠?qū)呐帕械亩鄠€(gè)發(fā)光元件輸出的光進(jìn)行受光的入射口，從所述入射口對(duì)從所述多個(gè)發(fā)光元件輸出的所述光進(jìn)行受光，將受光的所述光均一化；

受光裝置，其對(duì)由所述光學(xué)積分器均一化后的所述光進(jìn)行受光；以及

控制處理裝置，其使所述多個(gè)發(fā)光元件擇一地依次發(fā)光，并且與所述發(fā)光元件相對(duì)于所述光學(xué)積分器的所述入射口的位置相對(duì)應(yīng)，對(duì)從所述受光裝置依次獲得的受光結(jié)果進(jìn)行校正。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的發(fā)光特性測(cè)定裝置，其特征在于，

還具有載物臺(tái)裝置，其能夠使所述多個(gè)發(fā)光元件沿所述多個(gè)發(fā)光元件的排列方向移動(dòng)，

所述控制處理裝置對(duì)所述載物臺(tái)裝置進(jìn)行控制，以可由所述光學(xué)積分器的所述入射口獲取光的發(fā)光元件的數(shù)量為單位，使所述多個(gè)發(fā)光元件沿所述排列方向移動(dòng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的發(fā)光特性測(cè)定裝置，其特征在于，

所述控制處理裝置對(duì)從所述受光元件依次獲得的受光結(jié)果進(jìn)行校正，以使得其與在所述光學(xué)積分器的所述入射口的中心位置配置的所述發(fā)光元件發(fā)光的情況下從所述受光裝置獲得的受光結(jié)果相同。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的發(fā)光特性測(cè)定裝置，其特征在于，

所述受光裝置具有：

分光器，其對(duì)由所述光學(xué)積分器均一化后的所述光進(jìn)行分光；以及

受光器，其對(duì)由所述分光器分光后的所述光進(jìn)行受光。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的發(fā)光特性測(cè)定裝置，其特征在于，

所述控制處理裝置，對(duì)從所述受光元件依次獲得的受光結(jié)果進(jìn)行校正，以使得其與在所述光學(xué)積分器的所述入射口的中心位置上配置的所述發(fā)光元件發(fā)光的情況下從所述受光裝置獲得的受光結(jié)果相同。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的發(fā)光特性測(cè)定裝置，其特征在于，

所述受光裝置具有：

分光器，其對(duì)由所述光學(xué)積分器均一化后的所述光進(jìn)行分光；以及

受光器，其對(duì)由所述分光器分光后的所述光進(jìn)行受光。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的發(fā)光特性測(cè)定裝置，其特征在于，

所述控制處理裝置，利用預(yù)先求出的高次校正函數(shù)或者校正表，對(duì)從所述受光元件依次獲得的受光結(jié)果進(jìn)行校正。

8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的發(fā)光特性測(cè)定裝置，其特征在于，

所述受光裝置具有：

分光器，其對(duì)由所述光學(xué)積分器均一化后的所述光進(jìn)行分光；以及

受光器，其對(duì)由所述分光器分光后的所述光進(jìn)行受光。

9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的發(fā)光特性測(cè)定裝置，其特征在于，

所述控制處理裝置，利用預(yù)先求出的高次校正函數(shù)或者校正表，對(duì)從所述受光元件依次獲得的受光結(jié)果進(jìn)行校正。

10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的發(fā)光特性測(cè)定裝置，其特征在于，

所述受光裝置具有：

分光器，其對(duì)由所述光學(xué)積分器均一化后的所述光進(jìn)行分光；以及

受光器，其對(duì)由所述分光器分光后的所述光進(jìn)行受光。

11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的發(fā)光特性測(cè)定裝置，其特征在于，

所述受光裝置具有：

分光器，其對(duì)由所述光學(xué)積分器均一化后的所述光進(jìn)行分光；以及

受光器，其對(duì)由所述分光器分光后的所述光進(jìn)行受光。

12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的發(fā)光特性測(cè)定裝置，其特征在于，

所述受光裝置具有：

分光器，其對(duì)由所述光學(xué)積分器均一化后的所述光進(jìn)行分光；以及

受光器，其對(duì)由所述分光器分光后的所述光進(jìn)行受光。

13.一種發(fā)光特性測(cè)定方法，其測(cè)定發(fā)光元件的發(fā)光特性，其特征在于，具有：

配置步驟，在該步驟中，相對(duì)于具有能夠?qū)呐帕械亩鄠€(gè)發(fā)光元件輸出的光進(jìn)行受光的入射口的光學(xué)積分器，配置所述多個(gè)發(fā)光元件，以使所述射出的光射入所述光學(xué)積分器的所述入射口；以及

校正步驟，在該步驟中，使所述多個(gè)發(fā)光元件擇一地依次發(fā)光，并且與所述發(fā)光元件相對(duì)于所述光學(xué)積分器的入射口的位置相對(duì)應(yīng)，對(duì)由所述光學(xué)積分器均一化后的光依次受光而獲得的受光結(jié)果進(jìn)行校正。