[發明專利]藍寶石襯底的制造方法

無效

• 申請號: 201310024481.5
• 申請日: 2013-01-23
• 公開（公告）號: CN103943742A
• 公開（公告）日: 2014-07-23
• 發明（設計）人: 陳杰良;王仲培
• 申請（專利權）人: 鴻富錦精密工業（深圳）有限公司;鴻海精密工業股份有限公司
• 主分類號: H01L33/02
• 分類號: H01L33/02;C30B29/20;C30B15/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種藍寶石襯底制造方法，包括：

提供一個模具，該模具開設一個薄膜狀的凹陷；

將藍寶石原料置于該凹陷并加熱使該藍寶石原料在毛細作用下布滿凹陷而形成一個薄膜；

將一個具有一個特定切面的藍寶石晶種移動至該特定切面接觸該薄膜而形成固液界面；

拉提該藍寶石晶種使該薄膜在該特定切面上凝固以形成一個藍寶石襯底；

對該藍寶石襯底進行雙面粗磨減薄；

對該藍寶石襯底進行雙面細磨減薄；

對該藍寶石襯底進行雙面粗拋光；及

對該藍寶石襯底進行雙面精拋光。

2.如權利要求1所述的藍寶石襯底制造方法，其特征在于，該模具采用熔點高于該藍寶石原料的熔點的材料。

3.如權利要求1所述的藍寶石襯底制造方法，其特征在于，該凹陷的深度為3毫米。

4.如權利要求1所述的藍寶石襯底制造方法，其特征在于，該模具收容于一個生成爐，該生成爐加熱使得該藍寶石原料熔化，該藍寶石晶種固持于該生成爐，且與該凹陷正對，并在該生成爐的驅動下向該凹陷移動，直至該特定切面與薄膜接觸。

5.如權利要求1所述的藍寶石襯底制造方法，其特征在于，該生成爐加熱該藍寶石原料至2050攝氏度。

6.如權利要求1所述的藍寶石襯底制造方法，其特征在于，該藍寶石晶種的提升速度在每小時10毫米到25毫米之間。

7.如權利要求1所述的藍寶石襯底制造方法，其特征在于，利用粒度在10微米左右的鉆石砂輪對該藍寶石襯底的兩個表面同時進行粗磨20分鐘。

8.如權利要求1所述的藍寶石襯底制造方法，其特征在于，利用粒度在0.5微米左右的鉆石砂輪對該藍寶石襯底的兩個表面同時進行細磨150分鐘。

9.如權利要求1所述的藍寶石襯底制造方法，其特征在于，利用納米粗拋光液對該藍寶石襯底的兩個表面同時進行粗拋光40分鐘，納米粗拋光液中的粒子的直徑在50納米左右。

10.如權利要求1所述的藍寶石襯底制造方法，其特征在于，利用納米精拋光液對該藍寶石襯底的兩個表面同時進行精拋光240分鐘，納米精拋光液中的粒子的直徑在20納米左右。