[發明專利]電壓超調對介電失效/擊穿的影響的分析實驗估計器

有效

• 申請號: 201310024289.6
• 申請日: 2013-01-23
• 公開（公告）號: CN103218473A
• 公開（公告）日: 2013-07-24
• 發明（設計）人: E·Y·吳
• 申請（專利權）人: 國際商業機器公司
• 主分類號: G06F17/50
• 分類號: G06F17/50
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所 11247
• 代理人: 于靜;張亞非

1.一種方法，包括：

使用與集成電路器件相連的測試設備測試所述集成電路器件，以便測量當所述集成電路器件的電壓超過基礎工作電壓時發生的電壓超調狀況，以及測量當所述集成電路器件的電壓未超過所述基礎工作電壓時發生的正常工作狀況，所述測試產生歷史數據；

使用可訪問所述歷史數據的計算機化機器確定所述正常工作狀況的失效分數，所述失效分數包括在所述正常工作狀況期間發生的介電失效的比例；

使用所述計算機化機器計算施加于所述集成電路器件的電壓波形的平均超調電壓；

使用所述計算機化機器確定所述電壓超調狀況的失效分數，所述失效分數包括在所述電壓超調狀況期間經歷介電失效的所述集成電路器件的比例，所述電壓超調狀況的所述失效分數基于所述正常工作狀況的所述失效分數和所述平均超調電壓；

使用所述計算機化機器確定總失效分數，所述總失效分數包括所述正常工作狀況的所述失效分數和所述電壓超調狀況的所述失效分數的總和；

使用所述計算機化機器將所述總失效分數與可靠性目標進行比較，從而確定所述總失效分數是否可接受；以及

通過所述計算機化機器報告所述總失效分數是否可接受。

2.根據權利要求1的方法，其中確定所述正常工作狀況的所述失效分數的步驟在所述集成電路器件的整個有用工作壽命期間執行，所述失效分數包括在所述正常工作狀況期間發生的介電失效的比例。

3.根據權利要求1的方法，還包括如果所述總失效分數不可接受，則修改所述集成電路器件的制造工藝。

4.根據權利要求1的方法，還包括如果所述總失效分數不可接受，則修改所述集成電路器件的電路設計。

5.根據權利要求4的方法，其中所述電路設計的所述修改旨在導致不同的電壓超調狀況。

6.根據權利要求1的方法，其中所述電壓超調狀況的所述失效分數的確定基于占空因數、加電小時數壽命、最大允許電壓、使用溫度和柵介電面積。

7.一種方法，包括：

使用與集成電路器件相連的測試設備測試所述集成電路器件，以便測量當所述集成電路器件的電壓超過基礎工作電壓時發生的電壓超調狀況，以及測量當所述集成電路器件的電壓未超過所述基礎工作電壓時發生的正常工作狀況，所述測試產生歷史數據；

確定所述集成電路器件的老化時間；

使用可訪問所述歷史數據和所述集成電路器件的所述老化時間的計算機化機器確定所述正常工作狀況的失效分數，所述失效分數包括在所述正常工作狀況期間發生的介電失效的比例；

使用所述計算機化機器計算在所述測試期間施加于所述集成電路器件的電壓波形的平均超調電壓；

使用所述計算機化機器確定所述電壓超調狀況的失效分數，所述失效分數包括在所述電壓超調狀況期間經歷介電失效的所述集成電路器件的比例，所述電壓超調狀況的所述失效分數基于所述正常工作狀況的所述失效分數和所述平均超調電壓；

使用所述計算機化機器確定總失效分數，所述總失效分數包括所述正常工作狀況的所述失效分數和所述電壓超調狀況的所述失效分數的總和；

使用所述計算機化機器將所述總失效分數與可靠性目標進行比較，從而確定所述總失效分數是否可接受；以及

通過所述計算機化機器報告所述總失效分數是否可接受。

8.根據權利要求7的方法，其中確定所述正常工作狀況的所述失效分數的步驟在所述集成電路器件的整個有用工作壽命期間執行，所述失效分數包括在所述正常工作狀況期間發生的介電失效的比例。

9.根據權利要求7的方法，還包括如果所述總失效分數不可接受，則修改所述集成電路器件的制造工藝。

10.根據權利要求7的方法，還包括如果所述總失效分數不可接受，則修改所述集成電路器件的電路設計。

11.根據權利要求10的方法，其中所述電路設計的所述修改旨在導致不同的電壓超調狀況。

12.根據權利要求7的方法，其中所述電壓超調狀況的所述失效分數的確定基于占空因數、加電小時數壽命、最大允許電壓、使用溫度和柵介電面積。