[發明專利]一種聯接結合面微動位移的測量裝置及其測量方法

有效

• 申請號: 201310024260.8
• 申請日: 2013-01-23
• 公開（公告）號: CN103115572B
• 公開（公告）日: 2016-11-30
• 發明（設計）人: 趙登峰;曾國英;宋丹路;熊平;黃娟
• 申請（專利權）人: 西南科技大學
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02
• 代理公司: 成都九鼎天元知識產權代理有限公司 51214
• 代理人: 卿誠;吳彥峰

1.一種聯接結合面微動位移的測量裝置，其特征在于：它包括激光器（1），所述激光器（1）通過光纖連接有若干分支器（2），每個分支器（2）都通過光纖與環形器（3）連接，所述環形器（3）通過光纖分別連接有激光探測器（6）和測量頭（4），其中測量頭（4）置于測量孔內聯接結合面（7）一側的零件上，在測量孔內聯接結合面（7）的另一側的零件上設有反光頭（5），所述測量頭（4）與反光頭（5）相互配對?。

2.如權利要求1所述的聯接結合面微動位移的測量裝置，其特征在于：所述測量頭（4）包括可固定于檢測孔內的測量頭殼體（4-1），在測量頭殼體（4-1）中設有金屬光纖插針（4-2）和自聚焦透鏡（4-3），所述自聚焦透鏡（4-3）位于測量頭（4）的前端端部處，所述金屬光纖插針（4-2）中心穿有引出尾纖（4-4）。

3.如權利要求1或2所述的聯接結合面微動位移的測量裝置，其特征在于：所述反光頭（5）被微調螺釘（8）限于測量孔內，所述微調螺釘（8）連接于測量孔的內壁上，所述反光頭（5）采用不銹鋼材料制成，其中反光頭（5）的反光面（9）粗糙度小于0.4微米。

4.一種權利要求3所述的聯接結合面微動位移的測量裝置的測量方法，其特征在于：它包括以下步驟：

步驟1、激光器（1）發出激光，經過光纖連接的分支器（2）等分為若干路入射激光；

步驟2、各路入射激光分別經光纖傳至各個環形器（3）；

步驟3、各路入射激光從環形器（3）經光纖傳遞至測量頭（4），測量頭（4）通過螺紋固定于測量孔內聯接結合面（7）一側的零件上，其中一部分入射激光被測量頭（4）的自聚焦透鏡（4-3）反射形成第一路反射激光，并經光纖返回環形器（3）；

步驟4、另外部分的入射激光射出光纖，經自聚焦透鏡（4-3）照射于反射頭（5）的反光面（9）上被反射，其中反射頭（5）被微調螺釘（8）固定于測量孔內聯接結合面（7）另一側的零件上，反射后的激光再次經自聚焦透鏡（4-3）進入光纖形成第二路反射激光，并經光纖返回環形器（3）；

步驟5、第一路反射激光和第二路反射激光分別傳至環形器（3），并通過光纖傳入激光探測器（6），激光探測器（6）將激光干涉信號轉換為電信號，并經濾波處理后輸出。