[發(fā)明專利]一種位移和傾角一體化測(cè)試儀器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310024186.X
• 申請(qǐng)日: 2013-01-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103940341A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-07-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱軍平;陳士釗;水建忠
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州舜新儀器有限公司
• 主分類號(hào): G01B11/02
• 分類號(hào): G01B11/02;G01B11/26;G01C9/00
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種位移和傾角一體化測(cè)試儀器，其特征在于，包括一個(gè)激光器（1），三個(gè)光學(xué)系統(tǒng)a、b、c（4、5、7），被測(cè)面（10），一個(gè)反射鏡（8），一個(gè)分光鏡（6），兩個(gè)光電探測(cè)器a、b（2、3），和電路部分，所述的光電探測(cè)器a（2）與光學(xué)系統(tǒng)c（3）連接并位于中部，半導(dǎo)體激光器（1）與光學(xué)系統(tǒng)a（4）連接，位于光電探測(cè)器a（2）與光學(xué)系統(tǒng)c（7）的一側(cè)，光電探測(cè)器b（3）與光學(xué)系統(tǒng)b（5）連接，位于光電探測(cè)器a（2）與光學(xué)系統(tǒng)c（7）的另一側(cè)，所述被測(cè)面（10）位于反射鏡（8）下方。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種位移和傾角一體化測(cè)試儀器，其特征在于，所述的一個(gè)激光器、三個(gè)光學(xué)系統(tǒng)、被測(cè)面、一個(gè)反射鏡、一個(gè)分光鏡、兩個(gè)光電探測(cè)器分別固定有底座。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種位移和傾角一體化測(cè)試儀器，其特征在于，所述的底座安裝于同一塊光學(xué)平面底板上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種位移和傾角一體化測(cè)試儀器，其特征在于，所述的激光器為650nm波長(zhǎng)的半導(dǎo)體激光器。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種位移和傾角一體化測(cè)試儀器，其特征在于，所述的光學(xué)系統(tǒng)a是把激光束聚焦于被測(cè)面的一點(diǎn)的透鏡。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種位移和傾角一體化測(cè)試儀器，其特征在于，所述的光學(xué)系統(tǒng)b是把會(huì)聚于被測(cè)面上的激光點(diǎn)成像到光電探測(cè)器b的感光表面的消像差透鏡。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種位移和傾角一體化測(cè)試儀器，其特征在于，所述的光學(xué)系統(tǒng)c是把激光束聚焦到焦平面即光電探測(cè)器a的感光面的透鏡。