[發(fā)明專利]基板保持架、基板保持單元、基板搬送裝置和基板貼合裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310020980.7
• 申請(qǐng)日: 2009-03-13
• 公開（公告）號(hào): CN103227136A
• 公開（公告）日: 2013-07-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 前田榮裕;吉橋正博
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社尼康
• 主分類號(hào): H01L21/683
• 分類號(hào): H01L21/683;H01L21/677
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 李洋;楊林森

1.一種基板保持架，其利用由來(lái)自外部的供電產(chǎn)生的靜電力保持基板，并在保持著基板的狀態(tài)下被搬送，其特征在于，具備：

載置所述基板的保持架主體；和

從所述保持架主體露出，并相對(duì)于外部的電力供給端子裝卸自如的連接端子。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板保持架，其特征在于：

所述基板保持架在與具有相對(duì)于外部的電力供給端子裝卸自如的連接端子的其他基板保持架重合的狀態(tài)下被搬送，

所述基板保持架還具備露出部，該露出部在所述基板保持架與所述其他基板保持架重合的狀態(tài)下使所述其他基板保持架的所述連接端子露出。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板保持架，其特征在于：

所述露出部朝向與該基板保持架的所述連接端子露出的面相同的面使所述其他基板保持架的所述連接端子露出。

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的基板保持架，其特征在于：

所述露出部是切口或孔。

5.一種基板保持單元，在夾著多個(gè)基板的狀態(tài)下被搬送，其特征在于，具備：

利用由來(lái)自外部的供電產(chǎn)生的靜電力保持所述多個(gè)基板中的一個(gè)基板的第一基板保持架；和

利用由來(lái)自外部的供電產(chǎn)生的靜電力保持所述多個(gè)基板中的另一個(gè)基板的第二基板保持架，

所述第一基板保持架和所述第二基板保持架分別具有載置所述基板的保持架主體，和從所述保持架主體露出、并相對(duì)于外部的電力供給端子裝卸自如的連接端子。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板保持單元，其特征在于：

所述第一基板保持架和所述第二基板保持架中的一方還具有露出部，該露出部在所述第一基板保持架和所述第二基板保持架相互重合的狀態(tài)下使所述第一基板保持架和所述第二基板保持架的另一方的所述連接端子露出。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板保持單元，其特征在于：

在所述第一基板保持架和所述第二基板保持架相互重合的狀態(tài)下，所述第一基板保持架的所述連接端子和所述第二基板保持架的所述連接端子，朝向相同的面露出。

8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的基板保持單元，其特征在于：

所述露出部是切口或孔。

9.根據(jù)權(quán)利要求5至8中任一項(xiàng)所述的基板保持單元，其特征在于：

所述第一基板保持架的所述連接端子和所述第二基板保持架的所述連接端子，當(dāng)使所述第一基板保持架和所述第二基板保持架中的載置基板的面為相同朝向時(shí)相互配置在相同的位置。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基板保持單元，其特征在于：

所述第一基板保持架的所述連接端子和所述第二基板保持架的所述連接端子，在使載置基板的面面對(duì)并重合的情況下配置在面上的不同的位置。

11.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板保持單元，其特征在于：

所述第一基板保持架和所述第二基板保持架分別具有從載置基板的面貫通至另一個(gè)面的貫通部，

當(dāng)使所述第一基板保持架和所述第二基板保持架中的載置基板的面為相同朝向時(shí)，所述第一基板保持架和所述第二基板保持架的所述連接端子相互配置在相同的位置，并且所述第一基板保持架和所述第二基板保持架的所述貫通部相互配置在相同的位置，

當(dāng)使所述載置基板的面面對(duì)并重合的情況下，所述第一基板保持架和所述第二基板保持架中的一方的所述貫通部配置在與所述第一基板保持架和所述第二基板保持架中的另一方的所述連接端子重疊的位置。

12.一種基板搬送裝置，用于對(duì)利用由來(lái)自外部的供電產(chǎn)生的靜電力保持著基板的基板保持架進(jìn)行搬送，其特征在于，具備：

載置部，其具有載置所述基板保持架的載置面，用于保持所述基板保持架；和

向載置于所述載置面的所述基板保持架供電的電力供給端子。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的基板搬送裝置，其特征在于：

所述電力供給端子具有相互重合了兩個(gè)所述基板保持架時(shí)的、與下側(cè)的所述基板保持架的連接端子電連接的下側(cè)電力供給端子和與上側(cè)的所述基板保持架的連接端子電連接的上側(cè)電力供給端子。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的基板搬送裝置，其特征在于：

所述下側(cè)電力供給端子和所述上側(cè)電力供給端子配置在所述載置面?zhèn)取?/p>