[發(fā)明專利]太陽能電池及其制造方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310019770.6
• 申請日: 2013-01-18
• 公開（公告）號: CN103296095A
• 公開（公告）日: 2013-09-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 宍田佳謙;齋藤光央
• 申請（專利權(quán)）人: 松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社
• 主分類號: H01L31/0224
• 分類號: H01L31/0224;H01L31/077;H01L31/20
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 張鑫

1.一種太陽能電池，依次層疊有第1電極層、光電轉(zhuǎn)換層以及第2電極層，其特征在于，

在從所述光電轉(zhuǎn)換層進(jìn)行觀察時，所述第1電極層是依次層疊有透明導(dǎo)電膜材料層、混合層、及金屬材料層的多層膜，并且所述混合層由所述金屬材料層的金屬材料及所述透明導(dǎo)電膜材料層的透明導(dǎo)電材料構(gòu)成，所述混合層所含有的所述金屬材料的含量向著所述金屬材料層的方向逐漸增大。

2.一種太陽能電池，在具有電絕緣性的基板的表面上依次層疊有作為下電極層的第1電極層、光電轉(zhuǎn)換層、及第2電極層，其特征在于，

在從所述光電轉(zhuǎn)換層進(jìn)行觀察時，所述第1電極層是依次層疊有透明導(dǎo)電膜材料層、混合層、及金屬材料層的多層膜，并且所述混合層由所述金屬材料層的金屬材料及所述透明導(dǎo)電膜材料層的透明導(dǎo)電材料構(gòu)成，所述混合層所含有的所述金屬材料的含量向著所述金屬材料層的方向逐漸增大。

3.一種太陽能電池，在具有電絕緣性的基板的表面上依次層疊有作為下電極層的第2電極層、光電轉(zhuǎn)換層、及第1電極層，其特征在于，

在從所述光電轉(zhuǎn)換層進(jìn)行觀察時，所述第1電極層是依次層疊有透明導(dǎo)電膜材料層、混合層、及金屬材料層的多層膜，并且所述混合層由所述金屬材料層的金屬材料及所述透明導(dǎo)電膜材料層的透明導(dǎo)電材料構(gòu)成，所述混合層所含有的所述金屬材料的含量向著所述金屬材料層的方向逐漸增大。

4.如權(quán)利要求1至權(quán)利要求3中的任一項所述的太陽能電池，其特征在于，

所述混合層所含有的所述金屬材料的含量在透明導(dǎo)電膜材料層的界面上為0，向著所述金屬材料層的方向逐漸增大，且在所述金屬材料層的界面上僅存在所述金屬材料。

5.一種太陽能電池的制造方法，其特征在于，在制造依次層疊有作為下電極層的第1電極層、光電轉(zhuǎn)換層、及第2電極層的太陽能電池時，

在基板的表面上，以向著所述光電轉(zhuǎn)換層的方向依次層疊金屬材料層、透明導(dǎo)電膜材料層的方式來形成所述第1電極層，

在所述透明導(dǎo)電膜材料層上，層疊由非晶相構(gòu)成的所述光電轉(zhuǎn)換層，

之后，介由所述光電轉(zhuǎn)換層向所述透明導(dǎo)電膜材料層傳遞熱量，使所述光電轉(zhuǎn)換層晶化，并且利用熱擴(kuò)散在所述透明導(dǎo)電膜材料層與所述金屬材料層的界面上形成混合層，該混合層由所述金屬材料層的金屬材料及所述透明導(dǎo)電膜材料層的透明導(dǎo)電材料構(gòu)成，所述金屬材料的含量向著所述金屬材料層的方向逐漸增大。

6.一種太陽能電池的制造方法，其特征在于，在制造依次層疊有作為下電極層的第1電極層、光電轉(zhuǎn)換層、及第2電極層的太陽能電池時，

在基板的表面上，向著所述光電轉(zhuǎn)換層的方向依次層疊金屬材料層、透明導(dǎo)電膜材料層，

利用熱擴(kuò)散在所述透明導(dǎo)電膜材料層與所述金屬材料層的界面上形成混合層，該混合層由所述金屬材料層的金屬材料及所述透明導(dǎo)電膜材料層的透明導(dǎo)電材料構(gòu)成，所述金屬材料的含量向著所述金屬材料層的方向逐漸增大，

在所述透明導(dǎo)電膜材料層上層疊有所述光電轉(zhuǎn)換層，

在所述光電轉(zhuǎn)換層上形成有所述第2電極層。

7.一種太陽能電池的制造方法，其特征在于，在制造依次層疊有第1電極層、光電轉(zhuǎn)換層、及第2電極層的太陽能電池時，

在基板的表面上形成第2電極層，

在第2電極層上層疊所述光電轉(zhuǎn)換層，

在所述光電轉(zhuǎn)換層上層疊透明導(dǎo)電膜材料層，

在所述透明導(dǎo)電膜材料層上層疊金屬材料層，

之后，向所述金屬材料層提供熱量，利用熱擴(kuò)散在所述透明導(dǎo)電膜材料層與所述金屬材料層的界面上形成混合層，該混合層由所述金屬材料層的金屬材料及所述透明導(dǎo)電膜材料層的透明導(dǎo)電材料構(gòu)成，所述金屬材料的含量向著所述金屬材料層的方向逐漸增大，從而構(gòu)成具有所述透明導(dǎo)電膜材料層、所述混合層、及所述金屬材料層的所述第1電極層。

8.如權(quán)利要求5至權(quán)利要求7中的任一項所述的太陽能電池的制造方法，其特征在于，

所述熱擴(kuò)散是指進(jìn)行熱處理使得所述金屬材料層與所述透明導(dǎo)電膜材料層的界面變?yōu)?00℃以上。

9.如權(quán)利要求7中記載的太陽能電池的制造方法，其特征在于，

所述熱擴(kuò)散是利用大氣壓等離子體、閃光燈退火、激光燒蝕中的至少一項來進(jìn)行的。