[發明專利]一種磷擴散爐的三氯氧磷排除方法

有效

• 申請號: 201310018278.7
• 申請日: 2013-01-17
• 公開（公告）號: CN103088429A
• 公開（公告）日: 2013-05-08
• 發明（設計）人: 陳功
• 申請（專利權）人: 陳功
• 主分類號: C30B31/16
• 分類號: C30B31/16;H01L21/223
• 代理公司: 杭州華鼎知識產權代理事務所(普通合伙) 33217
• 代理人: 胡根良

1.一種磷擴散爐的三氯氧磷排除方法，其特征在于包括如下步驟：

首先，磷擴散爐排出的三氯氧磷氣體進入緩沖箱內與進入緩沖箱內的自然風混合冷卻，其中該緩沖箱包括方形的緩沖箱體，所述緩沖箱的內壁涂覆有特氟龍涂層，所述緩沖箱體后側壁上設有爐管開口，磷擴散爐的爐管通過所述爐管開口伸入所述緩沖箱，所述緩沖箱體前側敞口并設有密封門，所述密封門右側與緩沖箱體鉸接，所述密封門左側與緩沖箱體之間設有鎖閉結構，所述密封門上設有導流結構引導自然風進入緩沖箱，所述緩沖箱體右側壁上設有抽風管開口，爐管口部上設有爐帽，所述爐帽包括底部封閉的圓筒形石英材質帽體，所述帽體底部設有一向外凸出的開口延嘴，所述帽體底部內壁焊接有一石英卡環，所述開口延嘴設置在卡環底面與帽體底壁之間，爐管口部頂接在卡環上，開口延嘴正對緩沖箱體右側壁上的抽風管開口；

其次，冷卻后的三氯氧磷氣體被抽入抽風管并在抽風管內被噴淋的氨水中和液化落入抽風管底部的密封水箱，密封水箱內儲存的冷卻碳酸氫鈉溶液中和液態的三氯氧磷，其中該抽風管為U形管，抽風管一端設置開口方向與抽風管左側管道垂直的進風口，進風口通過緩沖箱的抽風管開口與緩沖箱連通，抽風管另一端設有高于進風口的出風口，該出風口開口向上并連接抽風機，抽風機抽風將緩沖箱內冷卻后的三氯氧磷氣體抽入抽風管進風口，抽風管的管道內壁設有特氟龍涂層，所述抽風管的左側管道頂壁上設有氨水噴嘴進行氨水的霧狀噴淋，所述抽風管底部開口并設有縮口結構；該密封水箱包括上方敞口的方形密封箱體，密封箱體上方敞口部位為向外側張開的張口結構，所述縮口結構插入所述張口結構，縮口結構與張口結構密封并固定；

最后，液化并中和的三氯氧磷液體從密封水箱排出進入廢水處理系統進行處理，其中，密封箱體底部側面設有進水口，密封箱體正對進水口的側面在進水口上方設有溢流排水口，所述密封水箱進水口通過管道與冷卻罐連接，所述溢流排水口通過管道連接廢水處理系統，所述冷卻罐內盛裝有碳酸氫鈉冷卻溶液，冷卻罐內設有冷卻盤管，所述冷卻罐底部設有排放閥，冷卻罐持續為密封水箱供應碳酸氫鈉冷卻溶液，多余的碳酸氫鈉冷卻溶液又從密封水箱的溢流排水口排入廢水處理系統，利用持續流動的冷卻碳酸氫鈉溶液中和液態的三氯氧磷并排入廢水處理系統。

2.根據權利要求1所述的磷擴散爐的三氯氧磷排除方法，其特征在于：所述密封門上邊沿、下邊沿及右邊沿設有密封條進行密封，所述導流結構為密封門左側邊沿的導流槽，所述鎖閉結構包括導流槽中間安裝的掛鉤及緩沖箱體左側邊對應該掛鉤設置的掛扣。

3.根據權利要求2所述的磷擴散爐的三氯氧磷排除方法，其特征在于：所述縮口結構外壁上設有倒鉤，所述張口結構內壁安裝一圈密封圈，所述密封箱體上方敞口上邊沿外側安裝有固定扣，所述固定扣與所述倒鉤扣合，所述密封圈與所述縮口結構外壁形成密封。

4.根據權利要求3所述的磷擴散爐的三氯氧磷排除方法，其特征在于：所述抽風管包括橫截面為方形的管道本體，所述管道本體內設有一豎直的中間隔板將抽風管分隔成U形結構，所述中間隔板底端到達縮口結構處止。

5.根據權利要求4所述的磷擴散爐的三氯氧磷排除方法，其特征在于：所述抽風管的縮口結構底端設有延伸板伸入密封水箱的液面以下。

6.根據權利要求5所述的磷擴散爐的三氯氧磷排除方法，其特征在于：所述縮口結構外壁上噴涂有特氟龍涂層，所述抽風機為混流風機，所述密封水箱為不銹鋼結構，密封水箱內壁設有特氟龍涂層。

7.根據權利要求6所述的磷擴散爐的三氯氧磷排除方法，其特征在于：所述溢流排水口的高度低于U形抽風管的中間隔板底端，高于U形抽風管的延伸板底端。

8.根據權利要求7所述的磷擴散爐的三氯氧磷排除方法，其特征在于：所述帽體底部外壁焊接有一石英把手，所述開口延嘴長度控制在3-5cm，開口延嘴內徑控制在0.5-1cm，所述卡環厚度等于帽體底部壁厚。