[發明專利]一種多指型微夾持器

有效

• 申請號: 201310017495.4
• 申請日: 2013-01-17
• 公開（公告）號: CN103056887A
• 公開（公告）日: 2013-04-24
• 發明（設計）人: 陳濤;劉吉柱;潘明強;王陽俊;汝長海;陳立國;孫立寧;范立成;孫榮川;郁樹梅;劉楠
• 申請（專利權）人: 蘇州大學
• 主分類號: B25J15/00
• 分類號: B25J15/00;B81B7/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 常亮

1.一種多指型微夾持器，設于一硅基體上，所述多指型微夾持器包括靜電驅動結構、末端夾持結構，其特征在于：所述多指型微夾持器還包括輔助指結構，所述靜電驅動結構包括平面梳齒靜電驅動結構及驅動輔助指結構動作的豎直交錯梳齒結構，所述平面梳齒靜電驅動結構包括第一靜電驅動器及在第一靜電驅動器的作用下做夾持或松開微小對象的兩個夾持臂，所述豎直交錯梳齒結構包括與輔助指結構連接的連接部及驅動輔助指結構擺動的第二靜電驅動器。

2.根據權利要求1所述的多指型微夾持器，其特征在于：所述平面梳齒靜電驅動結構包括均由第一靜電驅動器控制的平面靜齒及平面動齒，所述夾持臂位于平面動齒的末端。

3.根據權利要求1或2所述的多指型微夾持器，其特征在于：所述第一靜電驅動器為兩組分別控制兩個夾持臂運動的平面電容。

4.根據權利要求1所述的多指型微夾持器，其特征在于：所述連接部為一杠桿結構，所述杠桿結構的末端設有所述的輔助指結構。

5.根據權利要求4所述的多指型微夾持器，其特征在于：所述輔助指結構與杠桿結構為一體式結構。

6.根據權利要求4所述的多指型微夾持器，其特征在于：所述杠桿結構支撐于硅基體上的一支撐梁結構上。

7.根據權利要求4所述的多指型微夾持器，其特征在于：所述豎直交錯梳齒結構包括豎直靜齒及豎直動齒，所述杠桿結構為豎直動齒的一部分或全部。

8.根據權利要求4至7任一所述的多指型微夾持器，其特征在于：所述第二靜電驅動器為兩組通過杠桿結構間接驅動輔助指結構運動的豎直交錯電容。