[發明專利]一種磷擴散爐抽風管裝置

無效

• 申請號: 201310017427.8
• 申請日: 2013-01-17
• 公開（公告）號: CN103103613A
• 公開（公告）日: 2013-05-15
• 發明（設計）人: 陳功
• 申請（專利權）人: 陳功
• 主分類號: C30B31/16
• 分類號: C30B31/16;H01L21/223
• 代理公司: 杭州華鼎知識產權代理事務所(普通合伙) 33217
• 代理人: 胡根良

1.一種磷擴散爐抽風管裝置，其特征在于：包括抽風管與密封水箱，該抽風管為U形管，抽風管一端設置開口方向與抽風管左側管道垂直的進風口，抽風管另一端設有高于進風口的出風口，該出風口開口向上并連接抽風機，抽風管的管道內壁設有特氟龍涂層，所述抽風管底部開口并設有縮口結構；該密封水箱包括上方敞口的方形密封箱體，密封箱體上方敞口部位為向外側張開的張口結構，密封箱體底部側面設有進水口，密封箱體正對進水口的側面在進水口上方設有溢流排水口，所述縮口結構插入所述張口結構，縮口結構與張口結構密封并固定。

2.根據權利要求1所述的磷擴散爐抽風管裝置，其特征在于：所述縮口結構外壁上設有倒鉤，所述張口結構內壁安裝一圈密封圈，所述密封箱體上方敞口上邊沿外側安裝有固定扣，所述固定扣與所述倒鉤扣合，所述密封圈與所述縮口結構外壁形成密封。

3.根據權利要求2所述的磷擴散爐抽風管裝置，其特征在于：所述抽風管的左側管道頂壁上設有噴淋氨水的氨水噴嘴。

4.根據權利要求3所述的磷擴散爐抽風管裝置，其特征在于：所述抽風管包括橫截面為方形的管道本體，所述管道本體內設有一豎直的隔板將抽風管分隔成U形結構，所述中間隔板底端到達縮口結構處止。

5.根據權利要求4所述的磷擴散爐抽風管裝置，其特征在于：所述抽風管的縮口結構底端設有延伸板伸入密封水箱的液面以下。

6.根據權利要求5所述的磷擴散爐抽風管裝置，其特征在于：所述縮口結構外壁上噴涂有特氟龍涂層，所述抽風機為混流風機。

7.根據權利要求6所述的磷擴散爐抽風管裝置，其特征在于：所述密封水箱為不銹鋼結構，密封水箱內壁設有特氟龍涂層。

8.根據權利要求7所述的磷擴散爐抽風管裝置，其特征在于：所述溢流排水口的高度低于U形抽風管的中間隔板底端，高于U形抽風管的延伸板底端。

9.根據權利要求8所述的磷擴散爐抽風管裝置，其特征在于：所述密封水箱進水口通過管道與冷卻罐連接，冷卻罐內儲存有冷卻溶液，所述溢流排水口通過管道連接廢水處理系統。

10.根據權利要求9所述的磷擴散爐抽風管裝置，其特征在于：所述冷卻罐內盛裝有碳酸氫鈉冷卻溶液，冷卻罐內設有冷卻盤管，所述冷卻罐底部設有排放閥。