[發明專利]水晶振動片及水晶元件

在審

• 申請號: 201310016715.1
• 申請日: 2013-01-16
• 公開（公告）號: CN103227617A
• 公開（公告）日: 2013-07-31
• 發明（設計）人: 水沢周一
• 申請（專利權）人: 日本電波工業株式會社
• 主分類號: H03H9/02
• 分類號: H03H9/02;H03H9/19
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 臧建明

技術領域

本發明涉及一種激發厚度滑移振動(thickness?shear?vibration)的水晶振動片、及包含該水晶振動片的水晶元件(quartz?crystal?device)。

背景技術

人類使用有AT切割水晶振動片的水晶元件中，既存在對水晶元件的基底基板直接施加應力的水晶元件，也存在即便在熱膨脹等時仍對水晶振動片施加應力的水晶元件。對這些水晶振動片賦予的應力會對振蕩頻率帶來影響，從而對老化(aging)特性或頻率溫度特性等諸特性帶來不良影響。因此，為了消除對振蕩頻率帶來影響的應力的傳遞，而提出了專利文獻1的發明。

專利文獻1公開的安裝在水晶元件上的水晶振動片中，是在相對于特定的結晶軸具有規定的旋轉角的直線上配置著2個支撐電極。具體來說，專利文獻1的AT切割水晶振動片中，在與作為其結晶軸的X軸具有60°或120°的旋轉角的直線上，形成有至少一對連結框體和振動片的連結部。而且，AT切割水晶振動片的連結部上分別配置著一對引出電極。沿著具有該旋轉角的直線而附加的應力的靈敏度比率變得極小，從而AT切割水晶振動片的振蕩頻率所受到的應力影響變得極小。

背景技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本專利特開2007-243681號公報

然而，如果以濕式蝕刻(wet?etching)形成專利文獻1中所描述的AT切割水晶振動片，那么，由于只有連結部相對于框體或AT切割水晶振動片傾斜，所以，連結部和框體的銳角區域、或連結部和AT切割水晶振動片的銳角區域，實際上無法準確地加工。

發明內容

因此，本發明提供如下水晶振動片：連結部與框體或AT切割水晶振動片正交，并且，連結部與作為AT切割水晶振動片的結晶軸的X軸具有61°或119°的旋轉角。

第1形態的水晶振動片是包含矩形狀的激振部的AT切割水晶振動片，所述激振部具有結晶軸X、結晶軸Y′及結晶軸Z′。而且，水晶振動片包括：框體，在激振部的周圍隔開規定的空隙而形成；連結部，連結激振部和框體；一對激振電極，配置在激振部的兩主面上；以及一對引出電極，從激振電極經由連結部而延伸到框體。激振部的長邊是相對于結晶軸X旋轉61°或119°而形成，框體的長邊相對于結晶軸X向61°或119°方向延伸，連結部相對于結晶軸X向61°或119°方向延伸，且與激振部的短邊及框體的短邊正交。

第2形態的水晶振動片的連結部只有一根，且一對引出電極是：以從主面的法線方向觀察時，不與一根連結部重合的方式而形成。

在第3形態的水晶振動片中，連結一根連結部和激振電極的中央的直線是：相對于結晶軸X而為61°或119°方向。

在第4形態的水晶振動片中，框體及連結部的Y′軸方向的厚度比激振部的Y′軸方向的厚度還厚。

在第5形態的水晶振動片中，在激振部的一部分形成階差面，且階差面是：由所述激振部的厚度變為連結部的厚度。

第6形態的水晶元件包含第1形態至第5形態中任一形態的水晶振動片。而且，水晶元件包括：矩形狀的基底部，由玻璃材料形成，且接合于框體的主面的一方；及矩形狀的蓋部，由玻璃材料形成，且接合于框體的主面的另一方。

第7形態的水晶元件包含第1形態至第5形態中任一形態的水晶振動片。而且，水晶元件包括：矩形狀的基底部，由AT切割水晶材料形成，且接合于框體的主面的一方；及矩形狀的蓋部，由AT切割水晶材料形成，且接合于框體的主面的另一方。基底部及蓋部的長邊是相對于結晶軸X旋轉61°或119°而形成。

發明的效果

根據本發明的水晶振動片及水晶元件，可避免由對封裝體施加的應力及因熱膨脹等，而導致對激振部賦予的應力所引起的頻率特性的變動。

附圖說明

圖1是第1水晶元件100的分解立體圖。

圖2(a)是第1水晶元件100的剖視圖。

圖2(b)是水晶振動片30的俯視圖。

圖3(a)是水晶振動片30的剖視圖。

圖3(b)是變形例的水晶振動片30A的剖視圖。

圖4(a)～(d)是表示水晶振動片30的制造方法的流程圖。

圖5(a)～(d)是表示水晶振動片30的制造方法的流程圖。

圖6是水晶振動片晶片30W的俯視圖。

圖7是蓋晶片10W的俯視圖。

圖8是基底晶片20W的俯視圖。

圖9是第2水晶元件200的分解立體圖。

圖10(a)是第2水晶元件200的剖視圖。