[發明專利]一種硼氮共摻雜二氧化鈦薄膜的制備方法

有效

• 申請號: 201310016009.7
• 申請日: 2013-01-15
• 公開（公告）號: CN103074588A
• 公開（公告）日: 2013-05-01
• 發明（設計）人: 王鶴峰;李秀燕;范愛蘭;馬永;畢精會;唐賓
• 申請（專利權）人: 太原理工大學
• 主分類號: C23C14/38
• 分類號: C23C14/38;C23C14/06
• 代理公司: 北京輕創知識產權代理有限公司 11212
• 代理人: 楊立

1.一種硼氮共摻雜二氧化鈦薄膜的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

1）在雙層輝光離子滲金屬爐中，將固態化合物二硼化鈦固定在源極上，金屬工件放置在陰極上，陽極接在爐殼上并接地；

2）然后將所述雙層輝光離子滲金屬爐內部抽至極限真空，爐內充入氬氣，使氣壓維持在15～18Pa之間，加陰極電壓至500V～600V，使金屬工件進行第一次升溫，升溫后對金屬工件表面進行離子轟擊；控制調節通入流量比為1:2:1的氬氣、氮氣和氧氣的混合氣體，使氣壓維持在35～45Pa之間，然后再調節陰極電壓，同時接通源極電源，在源極與陽極間施加直流電壓，在源極電壓為-900～-1100V的條件下，使金屬工件進行第二次升溫，并在保溫的條件下進行等離子滲鍍鈦硼，保溫后再冷卻到室溫，即得到所述硼氮共摻雜二氧化鈦薄膜。

2.根據權利要求1所述的硼氮共摻雜二氧化鈦薄膜的制備方法，其特征在于，所述固態化合物二硼化鈦是由二硼化鈦粉制成。

3.根據權利要求2所述的硼氮共摻雜二氧化鈦薄膜的制備方法，其特征在于，所述固態化合物二硼化鈦的形狀為板狀、柱狀或筒狀中的任意一種或幾種。

4.根據權利要求1所述的硼氮共摻雜二氧化鈦薄膜的制備方法，其特征在于，所述金屬工件為具有Ti、B固溶度的金屬固體材料。

5.根據權利要求4所述的硼氮共摻雜二氧化鈦薄膜的制備方法，其特征在于，所述金屬工件為鐵素體不銹鋼或奧氏體不銹鋼。

6.根據權利要求1至5任一項所述的硼氮共摻雜二氧化鈦薄膜的制備方法，其特征在于，所述極限真空為1×10^-1Pa。

7.根據權利要求1至5任一項所述的硼氮共摻雜二氧化鈦薄膜的制備方法，其特征在于，所述金屬工件進行第一次升溫后的溫度為400～600℃；所述進行離子轟擊的時間為20～40min。

8.根據權利要求1至5任一項所述的硼氮共摻雜二氧化鈦薄膜的制備方法，其特征在于，所述調節陰極電壓后的電壓范圍為-350～-550V。

9.根據權利要求1至5任一項所述的硼氮共摻雜二氧化鈦薄膜的制備方法，其特征在于，所述金屬工件進行第二次升溫后的溫度為900～1000℃。

10.根據權利要求1至5任一項所述的硼氮共摻雜二氧化鈦薄膜的制備方法，其特征在于，所述保溫的時間為1～5小時。