[發明專利]一種壓電振子制備方法及應用該方法制備的壓電振子

有效

• 申請號: 201310015757.3
• 申請日: 2013-01-16
• 公開（公告）號: CN103078600A
• 公開（公告）日: 2013-05-01
• 發明（設計）人: 周丹;歐陽波
• 申請（專利權）人: 深圳市理邦精密儀器股份有限公司
• 主分類號: H03H3/007
• 分類號: H03H3/007;H03H9/02
• 代理公司: 深圳市港灣知識產權代理有限公司 44258
• 代理人: 孫強

1.一種壓電振子的制備方法，其特征在于，包括：

準備壓電塊材，所述壓電塊材的上下端面平整且平行；

在壓電塊材的上下端面制備電極并對該電極進行極化；

對壓電塊材按第一方向線進行切割，得到多個第一方向槽，其中所述第一方向槽的深度小于壓電塊材的厚度；?

將壓電塊材上下端面翻轉，對其按第二方向線進行切割，得到多個與第一方向槽垂直的第二方向槽，其中所述第二方向槽的深度小于壓電塊材的厚度；

對壓電塊材進行劃切，獲取所需的壓電振子；

其中，對壓電塊材進行橫向線切割之后，還包括對壓電塊材的第一方向槽內灌注聚合物，并固化聚合物；對壓電塊材進行縱向線切割之后，還包括對壓電塊材的第二方向槽內灌注聚合物，并固化聚合物。

2.根據權利要求1所述的一種壓電振子的制備方法，其特征在于，所述第一方向槽或者/和第二方向槽的深度大于壓電塊材厚度的9/10。

3.根據權利要求2所述的一種壓電振子的制備方法，其特征在于，所述相鄰兩個第一方向槽或者/和第二方向槽的寬度一致。

4.根據權利要求3所述的一種壓電振子的制備方法，其特征在于，所述相鄰第一方向槽或者/和第二方向槽之間保留的壓電塊材寬度小于壓電塊材厚度的1/2。

5.根據權利要求4所述的一種壓電振子的制備方法，其特征在于，所述第一方向槽的寬度、深度與所述第二方向槽的寬度、深度相同。

6.根據權利要求5所述的一種壓電振子的制備方法，其特征在于，所述第一方向槽或者第二方向槽的寬度w,相鄰兩個第一方向槽或者第二方向槽的寬度p滿足0.4?<?p²/(p+w)²?<?0.9。

7.根據權利要求1-6任一項所述的一種壓電振子的制備方法，其特征在于，所述對壓電塊材的第一方向槽或者第二方向槽內灌注聚合物，并固化聚合物的步驟為：

將所述橫向線或者縱向線切割之后的壓電塊材放置在灌膠模具中，將具有流動性的聚合物倒入灌膠模具中，聚合物液面高于壓電塊材的上端面；

將灌膠模具置于真空中去除聚合物中的氣泡，再將一個壓具放置在壓電塊材上，壓具的面積大于壓電塊材的面積，對壓具施加壓力壓緊壓電塊材，擠出壓電塊材上下端面電極表面覆蓋的聚合物；

將灌入的聚合物固化，將壓電塊材從灌膠模具中取出，切除壓電塊材四邊凸起的聚合物。

8.一種應用權利要求1所述方法制備的壓電振子，主要包括其上下端面平整且平行的壓電塊材，其特征在于，所述壓電塊材上下端面制備有被極化的電極；所述壓電塊材上端面的橫向方向上開有多個第一方向槽，所述壓電塊材下端面的縱向方向上開有多個與第一方向槽垂直的第二方向槽，所述第一方向槽以及第二方向槽的深度小于壓電塊材的厚度；所述第一方向槽以及第二方向槽內填充有固化的聚合物。

9.根據權利要求8所述的壓電振子，其特征在于，所述平整且平行的壓電塊材為壓電陶瓷材料或者壓電單晶材料；所述聚合物為環氧樹脂、聚氨酯或者硅橡膠材料。

10.根據權利要求8或9所述的壓電振子，其特征在于，所述電極材料為：金屬或合金，包括：金、銀、鉑、銅、鋁、鎳，或銀/鈀合金、銅/鈦合金、鎳/鉻合金。