[發(fā)明專利]一種用于透射電鏡薄膜樣品的研磨拋光裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310015073.3 | 申請日： | 2013-01-16 |
| 公開（公告）號： | CN103084967A | 公開（公告）日： | 2013-05-08 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 楊曉琨;葉飛;蔣鑫;石國輝 | 申請（專利權(quán)）人： | 大連理工大學(xué) |
| 主分類號： | B24B37/00 | 分類號： | B24B37/00 |
| 代理公司： | 大連理工大學(xué)專利中心 21200 | 代理人： | 李寶元 |
| 地址： | 116024*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 透射 薄膜 樣品 研磨 拋光 裝置 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種用于透射電鏡薄膜樣品的研磨拋光裝置，其特征在于:?該研磨拋光裝置包括圓柱形基體(1)、三個圓柱形支柱(2)、三個旋轉(zhuǎn)螺桿(3)、直角棱臺(4)；微分頭(5)和直角棱臺（4）上的三分之二圓形通孔（7）以及半圓形凹槽（8）。
圓柱形基體(1)有四個通孔，除中心通孔外，其余三個通孔圍繞圓柱形基體(1)底部的圓心均勻分布，三個通孔與三個圓柱形支柱(2)滑動配合；
旋轉(zhuǎn)螺桿(3)包括圓柱狀套筒(3-1)和螺桿(3-2)二部分，圓柱狀套筒(3-1)通過螺釘與圓柱形基體(1)上相應(yīng)通孔固定連接，圓柱狀套筒(3-1)的中心處開有螺紋通孔，供螺桿(3-2)進(jìn)出；
直角棱臺(4)上有與圓柱狀基體(1)中心的通孔相對應(yīng)的通孔，螺栓穿過中心通孔將其與圓柱形基體(1)固定連接；直角棱臺(4)的棱角處開有半圓形凹槽（8）和三分之二圓形通孔（7）；?
微分頭(5)與直角棱臺(4)配合，通過半圓形凹槽（8）固定，并利用螺釘鎖緊。
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